MOCVD Isıtıcı

Bu ısıtıcı, safsızlık seviyelerinin milyonda 5 parçanın (ppm) altına kadar titizlikle kontrol edildiği yüksek saflıkta grafit kullanılarak yapılmıştır. Grafit daha sonra %99,99995'i aşan bir saflık seviyesine sahip kimyasal buhar biriktirme (CVD) silikon karbür (SiC) ile kaplanır. Malzemelerin bu kombinasyonu, ısıtıcıya, metal-organik kimyasal buhar biriktirme (MOCVD) işlemlerinde optimum performansa ulaşmak için vazgeçilmez olan benzersiz bir dizi özellik kazandırır.

Semicorex MOCVD Isıtıcının en dikkat çekici özelliklerinden biri olağanüstü kimyasal saflığıdır. Yüksek saflıkta grafit çekirdek, yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında kirletici maddelerin girişini önemli ölçüde en aza indirerek ultra temiz ince filmlerin birikmesini sağlar. CVD SiC kaplama, bu saflığı daha da artırarak, biriktirilen katmanların bütünlüğünü tehlikeye atabilecek kimyasal etkileşimlere karşı sağlam bir bariyer sağlar. Bu yüksek seviyedeki kimyasal saflık, üstün performans ve güvenilirliğe sahip yarı iletken cihazların üretilmesi için çok önemlidir.

Üstelik ısıtıcı son derece sağlam ve termal açıdan verimli olup, MOCVD işlemlerine özgü aşırı termal koşullara dayanma kapasitesine sahiptir. Yüksek erime noktası ve termal iletkenlik gibi SiC'nin doğal özellikleri, ısıtıcının ısıyı verimli bir şekilde yönetme ve dağıtma yeteneğine katkıda bulunur. Bu termal verimlilik, alt tabaka boyunca eşit bir ısıtma sağlar; bu, homojen film birikiminin sağlanması ve kusurlara yol açabilecek termal değişimlerin en aza indirilmesi için gereklidir.

Elektrik iletkenliği, Semicorex MOCVD Isıtıcının üstün olduğu başka bir alandır. Yüksek saflıkta grafit çekirdek, mükemmel elektrik iletkenliği sağlayarak ısıtıcının yüksek elektrik yüklerini kolaylıkla karşılamasını sağlar. Bu yetenek, sıcaklık ve biriktirme oranları üzerinde hassas kontrol gerektiren MOCVD proseslerinde özellikle önemlidir. Isıtıcının yüksek yükler altında istikrarlı elektrik performansını koruma yeteneği, yüksek verimli yarı iletken üretimi için hayati önem taşıyan tutarlı ve tekrarlanabilir proses koşulları sağlar.

Isıtıcının düz yüzeyi, alt tabakaya karşı daha yüksek emisyon sağlamak ve ışınımlı ısı transferinin verimliliğini artırmak üzere titizlikle tasarlanmıştır. Bu tasarım özelliği, alt tabakanın eşit şekilde ısınmasını sağlar; bu, tutarlı kalınlık ve özelliklere sahip yüksek kaliteli ince filmler elde etmek için kritik öneme sahiptir. Yüksek emisyonlu yüzey aynı zamanda ısıtıcının genel termal verimliliğine de katkıda bulunarak enerji tüketimini ve işletme maliyetlerini azaltır.

Dayanıklılık açısından Semicorex MOCVD Isıtıcı olağanüstü korozyon direnci, oksitlenmezlik ve yüksek mekanik mukavemet sunar. CVD SiC kaplama, MOCVD proseslerinde yaygın olarak karşılaşılan aşındırıcı gazlara ve kimyasallara dayanıklı, sağlam bir koruyucu katman sağlar. Bu korozyon direnci, ısıtıcının çalışma ömrünü uzatarak bakım ve değiştirme maliyetlerini azaltır. Isıtıcının oksitlenmezliği, uzun çalışma süreleri boyunca performansını ve yapısal bütünlüğünü koruyarak, yüksek sıcaklıklarda bile stabil kalmasını ve bozulmamasını sağlar.

Son olarak ısıtıcının yüksek mekanik gücü, termal döngü ve alt tabaka kullanımıyla ilişkili fiziksel streslere dayanabilmesini sağlar. Bu sağlamlık, mekanik arıza riskini en aza indirerek güvenilir ve sürekli çalışmayı sağlar.