SiC Isıtma Filamenti

Yeni yarı iletken üretiminde levha işleme için geliştirilmiş yüksek vakumlu bir ısıtma elemanı olan Semicorex SiC Isıtma Filamenti,grafit çekirdekve yüksek saflıktasilisyum karbür kaplama. Özel filaman, grafitin termal iletkenliğini ve SiC'nin dayanıklılığını ve korunmasını kullanarak zaman içinde istikrarlı ve enerji tasarruflu bir ısıtıcı sağlar. SiC Isıtma Filamenti, levhaları eşit şekilde ısıtmak ve spesifikasyona ulaşmak için tasarlanmıştır; bu da onu epitaksi, difüzyon ve tavlama gibi yüksek sıcaklıkta yarı iletken işleme için mükemmel bir bileşen haline getirir.

SiC Isıtma Filamenti, grafitin termal özellikleri ve kaliteli elektriksel özellikleri nedeniyle yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. Grafit, elektrik yükü altında hızlı yanıt ve verimli ısıtma sağlayan ana ısıtma işlevini sağlar. Yoğun, yüksek saflıkta SiC kaplama, filamanı olası kirlenme kaynaklarından korur. SiC kaplama, levhayı kimyasal kirlenmeden ve oksidasyondan ve ayrıca haznedeki parçacıklardan korur, filamanın kullanım ömrünü uzatır ve temiz bir hazne ortamı oluşturur.

SiC Isıtma Filamentinin önemli bir özelliği, levhanın eşit şekilde ısıtılmasını sağlama yeteneğidir. Plaka boyunca sıcaklık değişimleri kusurlara veya verim kaybına neden olabilir. SiC Isıtma Filamenti mükemmel termal iletkenliğe sahiptir ve filamanın sağlam tasarımı, ısının stabil ve daha düzgün olmasını sağlayarak mutlak proses kontrolü için termal gradyanları sınırlandırır.

SiC Isıtma Filamenti özelleştirilebilir; her filamanın elektriksel direnç değeri, proses aracına ve çalışma ortamına göre özelleştirilebilir. Bu özelleştirme, silisyum karbür teknolojisinin filaman geometrisinin direnç değerini, kaplama kalınlığını ve malzeme özelliklerini kontrol etmesine olanak tanır. Bir SiC Isıtma Filamenti, birçok farklı levha boyutuna ve proses tarifine sahip birçok farklı fırın tasarımına uyabilir. Bu, mevcut süreçlerin daha verimli çalışmasına olanak sağladığı ve mevcut sistemlerle uyumluluğu koruduğu için özellikle yarı iletken üreticileri için avantajlıdır.  Performansın üçüncü özelliği dayanıklılıktır. Yüksek sıcaklıktaki yarı iletken işlemlerde, ısıtma elemanı çok agresif kimyasal ortamlara ve tekrarlanan termal döngüye maruz kalır.

SiC Isıtma Filamenti özelleştirilebilir; her filamanın elektriksel direnç değeri, proses aracına ve çalışma ortamına göre özelleştirilebilir. Bu özelleştirme, silisyum karbür teknolojisinin filaman geometrisinin direnç değerini, kaplama kalınlığını ve malzeme özelliklerini kontrol etmesine olanak tanır. Bir SiC Isıtma Filamenti, birçok farklı levha boyutuna ve proses tarifine sahip birçok farklı fırın tasarımına uyabilir. Bu, mevcut süreçlerin daha verimli çalışmasına olanak sağladığı ve mevcut sistemlerle uyumluluğu koruduğu için özellikle yarı iletken üreticileri için avantajlıdır.  Performansın üçüncü özelliği dayanıklılıktır. Yüksek sıcaklıktaki yarı iletken işlemlerde, ısıtma elemanı çok agresif kimyasal ortamlara ve tekrarlanan termal döngüye maruz kalır.