Monokristalin Silikon Epitaksiyel Süseptör

Grafit epitaksi ve levha işleme prosesi için mükemmel olan Semicorex ultra saf Monokristalin Silikon Epitaksiyel Susceptor, minimum düzeyde kirlenme sağlar ve olağanüstü uzun ömürlü performans sağlar. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahip olup Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex Monokristalin Silikon Epitaksiyel Süseptör, yüksek ısı ve korozyon direncine sahip, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış bir grafit üründür. Yüksek ısı iletkenliğine ve mükemmel ısı dağılım özelliklerine sahip, yarı iletken levhalar üzerinde epitaksiyel tabakayı oluşturan işlemlerde kullanılan CVD silisyum karbür kaplı taşıyıcı.
Monokristal Silikon Epitaksiyel Süseptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, levha çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kirlenmenin veya yabancı maddelerin yayılmasının önlenmesine yardımcı olur.
Monokristalin Silikon Epitaksiyel Süseptörümüz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Monokristal Silikon Epitaksiyel Süseptör Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Monokristalin Silikon Epitaksiyel Süseptör Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzlüğüne sahiptir.
- Grafit substrat ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltın, çatlama ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkili bir şekilde artırın.
- Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci, korozyon direnci.