Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptor

Grafit epitaksi ve gofret taşıma işlemi için mükemmel olan Semicorex ultra saf Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptor, minimum kontaminasyon sağlar ve olağanüstü uzun ömürlü performans sağlar. Ürünlerimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaksiyel Susceptor, yüksek ısı ve korozyon direncine sahip, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış grafit bir üründür. Yarı iletken levhalar üzerinde epitaksiyel tabaka oluşturan proseslerde kullanılan, yüksek ısıl iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahip CVD silisyum karbür kaplı taşıyıcı.
Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptörümüz, termal profilin düzgünlüğünü sağlayarak en iyi laminer gaz akış modelini elde etmek için tasarlanmıştır. Bu, gofret çipinde yüksek kaliteli epitaksiyel büyüme sağlayarak herhangi bir kontaminasyonu veya safsızlık difüzyonunu önlemeye yardımcı olur.
Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptor'umuz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptor Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

Monokristal Silikon Epitaksiyel Susceptor Özellikleri

- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklıkta ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir.
- Tek kristal büyümesi için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör çok yüksek yüzey düzgünlüğüne sahiptir.
- Grafit alt tabaka ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısındaki farkı azaltın, çatlamayı ve delaminasyonu önlemek için bağlanma gücünü etkin bir şekilde artırın.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabaka, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- Yüksek erime noktası, yüksek sıcaklık oksidasyon direnci, korozyon direnci.