Semicorex Monokristalin Silikon Gofret Süseptör, grafit epitaksi ve levha işleme prosesleri için ideal çözümdür. Ultra saf ürünümüz, minimum düzeyde kirlenme ve olağanüstü uzun ömürlü performans sağlayarak onu birçok Avrupa ve Amerika pazarında popüler bir seçim haline getiriyor. Çin'deki yarı iletken plaka taşıyıcılarının lider sağlayıcısı olarak, uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Monokristalin Silikon epitaksiyel Süseptörümüz, yüksek ısı ve korozyon direncine sahip, yüksek saflıkta SiC ile kaplanmış bir grafit üründür. CVD silisyum karbür kaplı taşıyıcı, yarı iletken levhalar üzerinde epitaksiyel tabakayı oluşturan işlemlerde kullanılır. Verimli ve hassas yarı iletken üretim süreçleri için gerekli olan yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
Monokristalin Silikon Gofret Süseptörümüzün en önemli özelliklerinden biri mükemmel yoğunluğudur. Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabakası iyi bir yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında iyi bir koruyucu rol oynayabilir. Tek kristal büyütme için kullanılan silisyum karbür kaplı suseptör, yüksek kaliteli levha üretimini sürdürmek için gerekli olan çok yüksek bir yüzey düzlüğüne sahiptir.
Ürünümüzün bir diğer önemli özelliği de grafit alt katman ile silisyum karbür katman arasındaki termal genleşme katsayısı farkını azaltabilmesidir. Bu, yapışma gücünü etkili bir şekilde artırır, çatlamayı ve delaminasyonu önler. Ek olarak, hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahip olup, üretim süreci boyunca ısının eşit şekilde dağıtılmasını sağlar.
Monokristalin Silikon Gofret Süseptörümüz aynı zamanda yüksek sıcaklıktaki oksidasyona ve korozyona karşı dayanıklıdır, bu da onu güvenilir ve dayanıklı bir ürün haline getirir. Yüksek erime noktası, verimli yarı iletken üretimi için gereken yüksek sıcaklık ortamına dayanabilmesini sağlar.
Sonuç olarak, Semicorex Monokristal Silikonlu Plaka Süseptör, grafit epitaksi ve levha işleme süreçleri için ultra saf, dayanıklı ve güvenilir bir çözümdür. Mükemmel yoğunluğu, yüzey düzlüğü ve termal iletkenliği, onu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortamlarda kullanım için ideal kılar. Rekabetçi fiyatlarla yüksek kaliteli ürünler sunmaktan gurur duyuyoruz ve tüm yarı iletken levha taşıyıcı ihtiyaçlarınız için sizinle ortak olmayı dört gözle bekliyoruz.
Monokristal Silikon Gofret Süseptörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Monokristalin Silikon Gofret Süseptörünün Özellikleri
- Soyulmaktan kaçının ve tüm yüzeyin kaplanmasını sağlayın
Yüksek sıcaklıkta oksidasyon direnci: 1600°C'ye kadar yüksek sıcaklıklarda stabildir
Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıktaki klorlama koşulları altında CVD kimyasal buhar biriktirme yoluyla yapılır.
Korozyon direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey ve ince parçacıklar.
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktifler.
- En iyi laminer gaz akış modelini elde edin
- Termal profilin düzgünlüğünü garanti edin
- Herhangi bir kirlenmeyi veya yabancı maddelerin yayılmasını önleyin