Yarı iletken silikon tek kristallerin termal alanında kaplama

Yarı iletken silikon tek kristal sıcak alandaki kaplanmış parçalar genellikle pirolitik karbon kaplama dahil olmak üzere CVD yöntemiyle kaplanır.Silisyum Karbür kaplamaVeTantal Karbür kaplama, her biri farklı özelliklere sahip.

Ortak noktalar: alt tabaka yüksek saflıkta izostatik grafittir, genellikle 5 ppm'den az kül içerir; kaplamada CVD yöntemi kullanılır; kaplama temel olarak %100 karbon veya Silisyum Karbürdür; kaplamadan sonra yüzey nispeten yoğun hale gelir, gaz, özellikle fırın silikon buharı veya silikon oksit gazı temel olarak bloke edilebilir; kendi toz buharlaşması da çok azdır.

Farklılıklar: kaplamanın standart kalınlığı, pirolitik karbon kaplama genellikle yaklaşık 40um'dur; Silisyum Karbür kaplama genellikle yaklaşık 100um yapılır, ancak müşterilerin farklı ihtiyaçlarına göre bir kaplama ve iki kaplama dahil olmak üzere 30um~150um yapılabilir; tantal karbür kaplama genellikle 35±15um'dur.

Pirolitik karbon kaplamanın yoğunluğu, yaklaşık 2,2 olan gözeneksiz grafitin yoğunluğuna eşdeğerdir. Yüzeyin paralel yönünde düşük dirençli ve yüksek termal iletkenliğe sahiptir, böylece yüzey sıcaklığının tutarlılığını koruyabilir ve aynı zamanda düşük bir termal genleşme katsayısına ve yüksek bir elastiklik modülüne sahiptir. Yüzeye dik yönde ısıl genleşme katsayısı daha büyük, ısıl iletkenlik ise daha düşüktür.

Silisyum Karbür kaplamalı ürünler için, kaplamanın elastik modülü çok yüksektir; dahili grafit alt katmanın elastik modülünden onlarca kat daha yüksektir, bu nedenle ürünün kırılmasını önlemek için dikkatli bir şekilde kullanılması gerekir.

Pirolitik karbon kaplama ve Silisyum Karbür kaplamanın tüm safsızlık içeriği 5 ppm'den azdır, ana metal element içeriği 0,1 veya 0,01 ppm'den az olduğunda, bor elementiyle başa çıkmak daha zor olan 0,01 veya 0,15 ppm'dir.

Semicorex, özelleştirilmiş hizmetle yarı iletken için yüksek kaliteli CVD kaplama ürünü sunmaktadır. Herhangi bir sorunuz varsa veya ek ayrıntılara ihtiyacınız varsa, lütfen bizimle iletişime geçmekten çekinmeyin.

İletişim telefonu numarası +86-13567891907

E-posta: sales@semicorex.com