Gezegen

Semicorex gezegensel sensör, özellikle Aixtron G5+ ekipmanı için tasarlanmış yarı iletken epitaksi reaktörleri için vazgeçilmez bir bileşendir. Yüksek saflıkta grafitten yapılmış vesilikon karbür (sic) ile kaplanmıştır, bu duyucu, yüksek sıcaklık ortamlarında üstün termal stabilite, olağanüstü kimyasal direnç ve eşsiz performansı garanti eder.

Aixtron G5+ epitaksi reaktörü, GAN, SIC ve diğer bileşik yarı iletken büyüme süreçleri için sektörde bir ölçüt olarak durur. Gezegensel duyucu, gaz akışını optimize etmek, hassas gofret rotasyonunu sağlamak, tam sıcaklık kontrolünü korumak ve epitaksiyal tabakaların muntazam birikimini sağlamak için çok önemlidir. Yenilikçi tasarımı, süreç tekrarlanabilirliğini önemli ölçüde artırır, bu da onu yüksek hacimli üretim ortamları için ideal bir seçim haline getirir.

Anahtar Özellikler  

- Gelişmiş malzeme bileşimi: SIC kaplamalı yüksek saflıkta grafitten yapılmış, sert süreç koşullarına karşı gelişmiş dayanıklılık ve direnç sağlar.  

- Optimize edilmiş termal performans: Yüksek hassasiyetli epitaksiyal tabaka büyümesi için kritik olan düzgün ısı dağılımı sağlar.  

- Kimyasal direnç: SIC kaplaması, suyunun ömrünü uzatarak ve süreç saflığını koruyarak grafit oksidasyonunu önler.  

- Hassas Mühendislik: Aixtron G5+ sistemlerinin katı gereksinimlerini karşılamak için tasarlanmış, kesintisiz entegrasyon ve optimal reaktör verimliliği sağlamak için tasarlanmıştır.  

- Yüksek yüzey homojenliği: Yarıiletken üretiminde üstün gofret kalitesini ve daha yüksek verimi destekleyen parçacık kontaminasyonunu en aza indirir.  

Gezegensel sensörümüzün avantajları  

- Genişletilmiş hizmet ömrü:Sic kaplamaAşınma ve yıpranmayı önemli ölçüde azaltır, bu da daha düşük yedek frekans ve operasyonel maliyetlerin azalmasına neden olur.  

- Geliştirilmiş işlem stabilitesi: Tutarlı ısıtma ve minimal termal gradyanlar sağlar, bu da yüksek kaliteli gofret üretimine yol açar.  

- Uyumluluk ve Özelleştirme: Belirli Aixtron G5+ süreç gereksinimlerini karşılamak için standart ve özelleştirilmiş tasarımlarda mevcuttur.  

GrafitParçalar yarı iletken işleminde vazgeçilmez ve çok önemli bir rol oynar. Grafit malzemelerinin kalitesi, bitmiş ürünlerin kalitesi üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Grafit parti kıvamımız ve malzeme homojenliğimiz üretim süreci boyunca kontrol edilebilir ve garanti edilebilir.

1. küçük parti üretimi, karbonizasyon fırını sadece sadece 50 metreküp olan küçük bir fırın kullanır

2. Her malzeme parçası izlenir ve izlenir

3. Sıcaklık farkının çok küçük bir aralıkta tutulmasını sağlamak için fırın alanında çok noktalı sıcaklık izleme

4. Sıcaklık farkının çok küçük bir aralıkta tutulmasını sağlamak için malzemede çok noktalı sıcaklık izleme

Semicorex gezegensel sensör, olağanüstü termal stabilite, kimyasal direnç ve hassas performans sunan Aixtron G5+ reaktörleri için premium çözümdür. En zorlu yarı iletken üretim süreçleri için tasarlanmış, daha yüksek gofret verimlerini artırır, kontaminasyon riskini en aza indirir ve ekipman ömrünü uzatır. Eşsiz sonuçlar için epitaksi sisteminizi en üst düzey bir sensörle yükseltin.