Yarı iletken işlemeye yönelik Semicorex dayanıklı odak halkaları, yarı iletken işlemede kullanılan plazma dağlama odalarının zorlu ortamlarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Odak halkalarımız, yoğun, aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) kaplama ile kaplanmış yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. SiC kaplama, mükemmel termal iletkenliğin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Odak halkalarımızın hizmet ömrünü artırmak için kimyasal buhar biriktirme (CVD) sürecini kullanarak SiC'yi grafit üzerine ince katmanlar halinde uyguluyoruz.
Devamını okuTalep Gönder