Semicorex, yarı iletken endüstrilerinde silisyum karbür katmanlara odaklanan OEM yarı imalat araçlarınız ve gofret taşıma bileşenleriniz için yarı iletken sınıfı seramikler sağlar. Uzun yıllardır Gofret Taşıyıcı Tepsi üreticisi ve tedarikçisiyiz. Gofret Taşıyıcı Tepsimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Semicorex, yalnızca epitaksi veya MOCVD gibi ince film biriktirme aşamaları veya gofret taşıma işlemleri için değil, gofretleri desteklemek için kullanılan ultra saf seramik taşıyıcı sağlar. Sürecin özünde, MOCVD için Gofret Taşıyıcı Tepsi, önce biriktirme ortamına tabi tutulur, bu nedenle yüksek ısı ve korozyon direncine sahiptir. SiC kaplı taşıyıcı ayrıca yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
Gofret Taşıyıcı Tepsimiz hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
Gofret Taşıyıcı Tepsi Parametreleri
Teknik Özellikler |
||||
dizin |
Birim |
Değer |
||
Malzeme Adı |
Reaksiyon Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Basınçsız Sinterlenmiş Silisyum Karbür |
Yeniden Kristalize Silisyum Karbür |
|
Kompozisyon |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Kütle yoğunluğu |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Bükülme mukavemeti |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Basınç Dayanımı |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Sertlik |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Azim kırma |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Termal iletkenlik |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Termal Genleşme katsayısı |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Özısı |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Havadaki maksimum sıcaklık |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastik modülü |
ortalama |
360 |
410 |
240 |
SSiC ve RBSiC arasındaki fark:
1. Sinterleme işlemi farklıdır. RBSiC, serbest Si'yi düşük bir sıcaklıkta silisyum karbür içine sızmaktır, SSiC, 2100 derecede doğal büzülme ile oluşturulur.
2. SSiC, daha katı yüzey gereksinimleri olan bazı contalar için daha pürüzsüz bir yüzeye, daha yüksek yoğunluğa ve daha yüksek dayanıklılığa sahiptir, SSiC daha iyi olacaktır.
3. Farklı PH ve sıcaklıkta farklı kullanım süresi, SSiC, RBSiC'den daha uzundur
Gofret Taşıyıcı Tepsi Özellikleri
- Servis ömrünü uzatmak için CVD Silisyum Karbür kaplamalar.
- Yüksek performanslı saflaştırılmış sert karbondan yapılmış ısı yalıtımı.
- Hem grafit substrat hem de silisyum karbür tabakası, yüksek bir termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
- İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama
Silisyum karbür seramiklerin mevcut şekilleriï¼
â Seramik çubuk / seramik pim / seramik piston
â Seramik boru / seramik burç / seramik kılıf
â Seramik halka / seramik rondela / seramik ayırıcı
â Seramik disk
â Seramik plaka / seramik blok
â Seramik top
â Seramik piston
â Seramik nozul
â Seramik pota
â Diğer özel seramik parçalar