Semicorex, yarı iletken işleme ekipmanınızda daha yüksek iş hacmini ve daha iyi verimi desteklemek için gelişmiş grafit bileşenleri ve düzenekleri konusunda iş ortağınızdır. Malzeme uzmanlarımız, gofret taşıma, ısıtma ve işleme gereksinimleriniz için en uygun çözümü geliştirmek üzere sizinle birlikte çalışmaya hazırdır. Seramik Uç Efektörümüz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve birçok Avrupa ve Amerika pazarını kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Seramik Uç Efektörü, yarı iletken levhaları levha işleme ekipmanı ve taşıyıcılardaki konumlar arasında hareket ettiren robotun elidir. Uç efektörü, cihazlara zarar vermeden veya partikül kontaminasyonu üretmeden gofretleri güvenli bir şekilde işlemek için pürüzsüz, aşınmaya dayanıklı bir yüzeye sahipken, boyutsal olarak hassas ve termal olarak kararlı olmalıdır. Yüksek saflıkta silisyum karbür Seramik Uç Efektörümüz, üstün ısı direnci, tutarlı epi tabakası kalınlığı ve direnci ve dayanıklı kimyasal direnç için eşit termal homojenlik sağlar.
Semicorex'te yüksek kaliteli, uygun maliyetli Seramik Uç Efektör sağlamaya odaklanıyoruz, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Seramik Uç Efektör Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Yüksek saflıkta Seramik Son Efektörün özellikleri
â Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
â Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
â Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplama
â Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
â Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.