Semicorex, yarı iletken işleme ekipmanınızda daha yüksek verimi ve daha iyi verimi desteklemek için gelişmiş grafit bileşenler ve düzenekler konusunda ortağınızdır. Malzeme uzmanlarımız, levha işleme, ısıtma ve işleme gereksinimleriniz için en uygun doğru çözümü geliştirmek üzere sizinle birlikte çalışmaya hazırdır. Seramik Uç Efektörümüz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Seramik Uç Efektörü, yarı iletken levhaları levha işleme ekipmanı ve taşıyıcılardaki konumlar arasında hareket ettiren robotun elidir. Uç efektör, boyutsal olarak hassas ve termal olarak kararlı olmalı, aynı zamanda cihazlara zarar vermeden veya parçacık kirliliği oluşturmadan levhaları güvenli bir şekilde işlemek için pürüzsüz, aşınmaya dayanıklı bir yüzeye sahip olmalıdır. Yüksek saflıkta silisyum karbür Seramik Uç Efektörümüz, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci, hatta termal tekdüzelik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.
Semicorex olarak yüksek kaliteli, uygun maliyetli Seramik Uç Efektörü sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Seramik Uç Efektörünün Parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal Yapısı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane Boyutu |
μm |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı Kapasitesi |
J kg-1 K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Dayanım |
MPa (RT 4 nokta) |
415 |
Young Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300°C) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Isı iletkenliği |
(W/mK) |
300 |
Yüksek saflıkta Seramik Uç Efektörünün Özellikleri
● Yüksek saflıkta SiC kaplı grafit
● Üstün ısı direnci ve termal homojenlik
● Pürüzsüz bir yüzey için ince SiC kristal kaplamalı
● Kimyasal temizlemeye karşı yüksek dayanıklılık
● Malzeme çatlama ve delaminasyon oluşmayacak şekilde tasarlanmıştır.