> Ürünler > Seramik > Silisyum Karbür (SiC) > Yarı İletken İşleme için Dayanıklı Odak Halkaları

Ürünler

yeni ürünler

Yarı İletken İşleme için Dayanıklı Odak Halkaları

Yarı iletken işleme için Semicorex dayanıklı odak halkaları, yarı iletken işlemede kullanılan plazma dağlama odalarının zorlu ortamlarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Odak halkalarımız yoğun, aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) kaplamayla kaplanmış yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. SiC kaplama, mükemmel ısı iletkenliğinin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Odak halkalarımızın hizmet ömrünü uzatmak için kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemini kullanarak SiC'yi ince katmanlar halinde grafit üzerine uyguluyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız, levha kenarı veya çevresi etrafında aşındırma homojenliğini geliştirerek kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır. Hızlı termal tavlama (RTA), hızlı termal işleme (RTP) ve sert kimyasal temizlemeye karşı oldukça dayanıklıdırlar.

Semicorex olarak yarı iletken işleme için yüksek kaliteli, uygun maliyetli, dayanıklı odak halkaları sağlamaya odaklanıyor, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyor ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının özellikleri

● İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama.

● Hem grafit alt katman hem de SiC katmanı yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

● Hizmet ömrünü uzatmak için SiC kaplama ince tabakalar halinde uygulanır.

Sıcak Etiketler: Yarı İletken İşleme için Dayanıklı Odak Halkaları, Çin, Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika, Özelleştirilmiş, Toplu, Gelişmiş, Dayanıklı

Ürün Etiketi

İlgili Kategori