Ev > Ürünler > Yarı İletken Bileşenler > Odak Halkası > Yarı İletken İşleme İçin Dayanıklı Odak Halkaları
Yarı İletken İşleme İçin Dayanıklı Odak Halkaları

Yarı İletken İşleme İçin Dayanıklı Odak Halkaları

Yarı iletken işlemeye yönelik Semicorex dayanıklı odak halkaları, yarı iletken işlemede kullanılan plazma dağlama odalarının zorlu ortamlarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Odak halkalarımız, yoğun, aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) kaplama ile kaplanmış yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. SiC kaplama, mükemmel termal iletkenliğin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Odak halkalarımızın hizmet ömrünü artırmak için kimyasal buhar biriktirme (CVD) sürecini kullanarak SiC'yi grafit üzerine ince katmanlar halinde uyguluyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız, gofret kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini iyileştirmek, kirlenmeyi ve planlanmamış bakımı en aza indirmek için tasarlanmıştır. Hızlı termal tavlama (RTA), hızlı termal işleme (RTP) ve sert kimyasal temizleme için oldukça kararlıdırlar.

Semicorex'te, yarı iletken işleme için yüksek kaliteli, uygun maliyetli, dayanıklı odak halkaları sağlamaya odaklanıyoruz, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyoruz ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.

Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.


Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri

SiC-CVD Özellikleri

Kristal yapı

FCC β fazı

Yoğunluk

g/cm³

3.21

Sertlik

Vickers sertliği

2500

Tane büyüklüğü

ım¼m

2~10

Kimyasal Saflık

%

99.99995

Isı kapasitesi

J·kg-1 ·K-1

640

Süblimleşme Sıcaklığı

2700

Feleksural Mukavemet

MPa (RT 4 noktalı)

415

Youngâ s Modülü

Gpa (4pt viraj, 1300â)

430

Termal Genleşme (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termal iletkenlik

(W/mK)

300


Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının özellikleri

â İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama.

â Hem grafit substrat hem de SiC tabakası, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

â Servis ömrünü uzatmak için SiC kaplama ince tabakalar halinde uygulanır.



Sıcak Etiketler: Yarı İletken İşleme için Dayanıklı Odak Halkaları, Çin, Üreticiler, Tedarikçiler, Fabrika, Özelleştirilmiş, Toplu, Gelişmiş, Dayanıklı

İlgili Kategori

Talep Gönder

Lütfen sorgunuzu aşağıdaki formda yapmaktan çekinmeyin. 24 saat içinde size cevap vereceğiz.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept