Yarı iletken işlemeye yönelik Semicorex dayanıklı odak halkaları, yarı iletken işlemede kullanılan plazma dağlama odalarının zorlu ortamlarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır. Odak halkalarımız, yoğun, aşınmaya dayanıklı silisyum karbür (SiC) kaplama ile kaplanmış yüksek saflıkta grafitten yapılmıştır. SiC kaplama, mükemmel termal iletkenliğin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahiptir. Odak halkalarımızın hizmet ömrünü artırmak için kimyasal buhar biriktirme (CVD) sürecini kullanarak SiC'yi grafit üzerine ince katmanlar halinde uyguluyoruz.
Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız, gofret kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini iyileştirmek, kirlenmeyi ve planlanmamış bakımı en aza indirmek için tasarlanmıştır. Hızlı termal tavlama (RTA), hızlı termal işleme (RTP) ve sert kimyasal temizleme için oldukça kararlıdırlar.
Semicorex'te, yarı iletken işleme için yüksek kaliteli, uygun maliyetli, dayanıklı odak halkaları sağlamaya odaklanıyoruz, müşteri memnuniyetini ön planda tutuyoruz ve uygun maliyetli çözümler sunuyoruz. Yüksek kaliteli ürünler ve olağanüstü müşteri hizmetleri sunarak uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Yarı iletken işlemeye yönelik dayanıklı odak halkalarımız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.
Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının parametreleri
CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri |
||
SiC-CVD Özellikleri |
||
Kristal yapı |
FCC β fazı |
|
Yoğunluk |
g/cm³ |
3.21 |
Sertlik |
Vickers sertliği |
2500 |
Tane büyüklüğü |
ım¼m |
2~10 |
Kimyasal Saflık |
% |
99.99995 |
Isı kapasitesi |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Süblimleşme Sıcaklığı |
℃ |
2700 |
Feleksural Mukavemet |
MPa (RT 4 noktalı) |
415 |
Youngâ s Modülü |
Gpa (4pt viraj, 1300â) |
430 |
Termal Genleşme (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termal iletkenlik |
(W/mK) |
300 |
Yarı iletken işleme için Dayanıklı odak halkalarının özellikleri
â İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama.
â Hem grafit substrat hem de SiC tabakası, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.
â Servis ömrünü uzatmak için SiC kaplama ince tabakalar halinde uygulanır.