Kuvars sıvı depolama tankı

Semicorex kuvars sıvı depolama tankı, sıvı kullanımın olağanüstü bir temizlik ve malzemelerin stabilitesi gerektirdiği yarı iletken ıslak temiz uygulamalar için amaca yönelik bir kaptır. Öncelikle, bu tank gofret temizleme uygulamalarından atık veya artık sıvıların toplamak için kullanılır. Proses verimliliği ve kontaminasyon kontrolü için paha biçilmezdir. Islak temiz bir işlem sırasında, yarı iletken gofret durulama, durulamanın sonunda atık sıvı haline gelen büyük hacimlerde ultra saf su veya kimyasal reaktifler içerir. Ek olarak, durulamadan sonra artık sıvı toplanmalıdır, çünkü potansiyel iz safsızlıklarına veya boşaltılmaması gereken değerli kimyasal bileşenlere sahiptir. Atık sıvı, ekstra kalıntıların veya atık kimyasalların toplanması gereken fotorezist uygulamalar gibi kaplama adımları gerçekleştirildiğinde de toplanmalıdır. Böylece, kuvars sıvı depolama tankı, yüksek saflık, kimyasal uyumluluk ve düşük kirletici özellikler sağlamak için mükemmel çıktılara sahiptir.

Tank, yarı iletken temizleme ve litografide düzenli olarak kullanılan güçlü asitlere, alkalilere ve çözücülere çok dirençli yüksek saflıkta kaynaşmış kuvarsdan yapılmıştır. Geleneksel bir kap olsun, kuvars, parçalara sıvı malzemesine ikincil kirletici maruz kalma, sızıntı veya istenmeyen iyon maruziyeti yok olma şansı verir. Kuvars sıvı depolama tankının önde gelen yönlerinden biri, yarı iletken Fab'larda analitik iş akışlarını destekleme yeteneğidir, çünkü bir kuvars kapta toplanan artık sıvılar safsızlık tespiti, kontaminasyon analizi ve kimyasal geri dönüşüm gibi aşağı akış işlemlerinde kullanılabilir. Kuvars özelliklerinin doğasında var olan, tanktaki herhangi bir sıvının, sıvıyı bozma veya etkileme riski olmadan herhangi bir işlem sıcaklığına hafifçe hızlandırılmasına izin veren termal stabilitesine ek olarak, kalıntı sıvıları güvenli bir şekilde içerebilir ve etkileşim riski olmadan görsel değerlendirmeye izin verebilir. Bununla birlikte, kuvars sıvı depolama tankı, aktarılmadan veya işlenmeden önce hem atık toplama hem de kısa süreli depolama için tasarlanmıştır.

İşlem kontaminasyon kontrolünün her detayı önemlidir, özellikle gelişmiş cihaz üretim düğümleri küçüldükçe ve temizlik parametreleri daha katı hale gelir. Kuvars sıvı depolama tankı, FAB operatörlerinin atık yönetiminin ikincil kontaminasyon kaynağı olmadığından emin olduğunu garanti eder. Kalıntı temizleme çözeltileri veya aşırı işlem sıvıları içererek, yukarı ve aşağı akışlı iş akışlarının geçerli bir şekilde etkilenmesini önler. Buna ek olarak, tank bir FAB’in sürdürülebilirlik hedeflerini destekler, çünkü toplanan sıvılar reaktif saflaştırma ve yeniden kullanım için işlenebilir, böylece daha az kimyasal yoğun bir işlem kullanılarak ve genel olarak daha az çevresel yüke neden olur.

Pratik bir bakış açısından, kuvars sıvı depolama tankının tasarımı, ıslak temizlik donanımına ve kimyasal yönetim sistemlerine kolayca dahil edilmesini sağlar. Form faktörü mevcut takım konfigürasyonlarına göre uyarlanabilir. Hassas imalat yöntemleri yuvarlak boyutları sağlar ve pürüzsüz iç yüzeyin yarı iletken fab ortamınızdaki tüm sıvıları kolayca taşıyacak ve saklayacağını. Göze çarpmayan bir kuvars yapısı, kirleticilerin emilimini önleyecek ve tankın temizlenmesine izin vererek, önemli hacim operasyonlarında kimyasal kontrollü ortamlarda çalışan geleneksel plastik kapların aksine yeniden kullanım için yetenekli olacak.

Sonuç olarak, kuvars sıvı depolama tankı, tüm yarı iletken ıslak temizleme ve kaplama uygulamalarında önem için özel olarak tasarlanmıştır. Bir yarı iletken operasyonel tesiste mümkün olan en iyi malzeme saflığı, kimyasal direnç ve kontaminasyon içermeyen sıvı depolama alanını oluşturarak, işlemlerini çok az veya hiç kontaminasyon olmadan etkili bir şekilde kontrol edebilirler. Bir Fab, tankı doğrudan atık toplama almak için, bir reaktifin geri kazanılması vb. İçin veya safsızlık analizi için kullanıyor olsun, işlemdeki kritik adımların geçmişi, operasyondan ödün vermeden orijinal durumda kalır. Verimi en üst düzeye çıkarmak, istikrar kaybına yönelik çalışma süreciniz için riski en aza indirmek ve yan ürünlerin kimyasal yönetiminin verimliliğini en üst düzeye çıkardığınızda, kontaminasyonsuz kuvars, tüm ıslak temizliğinizle güvenilir performans sunan tek seçenektir.