Uydu plakası

Semicorex uydu plakası, epitaksiyal büyüme işlemi sırasında hayati bir gofret taşıyıcısıdır ve tekdüze birikimi ve optimal işlem verimliliğini garanti eder. Yüksek saflıkta grafitten yapılmış ve sağlam bir silikon karbür (sic) tabakası ile kaplanmış olan bu plaka, olağanüstü termal stabilite, kimyasal direnç ve mekanik mukavemet sağlar, yüksek performanslı yarı iletken üretiminde vazgeçilmez bir bileşen olarak konumunu sağlamlaştırır.

Yüksek saflıklı grafit tabanı ile uydu plakası termal iletkenlik ve yapısal bütünlükte mükemmeldir. .Sic kaplamaYüksek sıcaklık direnci, kimyasal inertlik ve parçacık üretimini önemli ölçüde azaltarak dayanıklılığını önemli ölçüde artırır. Bu güçlü kombinasyon, plakanın sürekli olarak yüksek seviyede performans gösterirken sert işlem koşullarına dayanmasını sağlar. Grafit tabanı, gofret boyunca homojen sıcaklık dağılımını sağlayarak verimli ısı transferini kolaylaştırırken, SIC kaplama aşındırıcı proses gazlarına karşı koruma sağlar, kontaminasyonu önler ve hizmet ömrünü uzatır. Ek olarak, SIC yüzeyi, yüksek verimli yarı iletken imalat elde etmek için kritik olan parçacık salınımını en aza indirir.

Özellikle Aixtron G5+ sistemleri ile kesintisiz entegrasyon için tasarlanan uydu plakası, kararlı termal koşulları korumak ve kusur oranlarını azaltmak için gerekli olan hassas gofret konumlandırma ve dönme dengesini garanti eder. Plakanın gelişmiş malzeme bileşimi sadece hizmet ömrünü uzatmakla kalmaz, aynı zamanda operasyonel maliyetleri de önemli ölçüde düşürür ve üretim üretkenliğini arttırır.

Öncelikle metal organik kimyasal buhar birikimi (MOCVD) işleminde kullanılan uydu plakası, yarı iletken gofretler üzerinde epitaksiyal tabakalar yetiştirmek için çok önemlidir. LED'ler, SIC ve GAN tabanlı güç elektroniği, fotonik ve optoelektronik bileşenler ve yüksek frekanslı RF cihazları dahil olmak üzere gelişmiş yarı iletken cihazların üretiminde önemli bir rol oynar. Kararlı termal koşullar sağlayarak ve kontaminasyonu en aza indirerek, uydu plakası tutarlı epitaksiyal tabaka büyümesini garanti ederek gofret taşıma ve daha yüksek verim oranlarına yol açar. Optimize edilmiş tasarımı, gofret desteğini verimli bir şekilde korur, kusurları azaltır ve yarı iletken işleme aşamaları boyunca hassasiyet sağlar.

Semicorex uydu plakası, benzersiz dayanıklılık, kimyasal direnç ve termal performans sağlayan Aixtron G5+ epitaksi reaktörleri için temel bir bileşen görevi görür. En son malzeme bileşimi ve mühendisliği, yüksek verimli ve yüksek kaliteli gofretlerin üretilmesini sağlayarak yarı iletken üretim süreci için kritik hale getirir. Yarı iletken imalatınızı yükseltmek ve epitaksiyal büyüme süreçlerinde mükemmellik elde etmek için uydu plakasına yatırım yapın.