SiC Disk Alıcısı

Kalite ve yeniliğe olan derin bağlılığıyla Semicorex'in ultra saf SiC Disk Süseptör'ü epitaksi, MOCVD ve RTP ekipmanlarında performans için yeni bir standart belirliyor. Olağanüstü termal şok direncini, üstün termal iletkenliği, olağanüstü kimyasal direnci ve ultra yüksek saflığı birleştiren bu mühendislik bileşenleri, yarı iletken üreticilerine benzersiz verimlilik, güvenilirlik ve ürün kalitesi elde etme gücü verir. Semicorex'in özelleştirilebilir çözümleri ayrıca her bir termal işlem uygulamasının, benzersiz taleplerini karşılamak üzere tasarlanmış optimize edilmiş, hassas mühendislikle üretilmiş bileşenlerden yararlanmasını sağlar.

Üstün Termal Şok Direnci:SiC Disk Süseptör, RTP ve diğer yüksek sıcaklık proseslerinde yaygın olan hızlı sıcaklık dalgalanmalarına dayanma konusunda mükemmeldir. Bu olağanüstü termal şok direnci, yapısal bütünlük ve uzun ömür sağlar, ani sıcaklık değişimlerinden kaynaklanan hasar veya arıza riskini en aza indirir ve termal işlem ekipmanının güvenilirliğini artırır.

Üstün Isı İletkenliği:Isıl işlem uygulamalarında verimli ısı transferi kritik öneme sahiptir. SiC Disk Süseptörünün mükemmel termal iletkenliği, hassas sıcaklık kontrolü ve proses bütünlüğü için gerekli olan hızlı ve eşit ısıtma ve soğutma sağlar. Bu, gelişmiş proses verimliliğine, azaltılmış çevrim sürelerine ve daha yüksek kaliteli yarı iletken plakalara yol açar.

Olağanüstü Kimyasal Direnç:SiC Disk Süseptör, epitaksi, MOCVD ve RTP işlemlerinde kullanılan çok çeşitli aşındırıcı ve reaktif kimyasallara karşı olağanüstü direnç sağlar. Bu kimyasal inertlik, altta yatan grafiti bozulmaya karşı korur, proses ortamının kirlenmesini önler ve uzun çalışma süreleri boyunca tutarlı performans sağlar.

Ultra Yüksek Saflık: SiC Disk Süseptör, hem grafit hem de SiC kaplama için ultra yüksek saflık standartlarında üretilerek kirlenme potansiyelini ortadan kaldırır ve hatasız yarı iletken cihazların üretimini sağlar. Saflığa olan bu bağlılık, daha yüksek verim ve gelişmiş cihaz performansı anlamına gelir.

Karmaşık Şekillerin Kullanılabilirliği:Semicorex'in gelişmiş üretim yetenekleri, SiC Disk Süseptörünün özel müşteri gereksinimlerine göre uyarlanmış karmaşık şekillerde üretilmesine olanak tanır. Bu esneklik, çeşitli termal işleme uygulamalarının kesin ihtiyaçlarını karşılayan, proses verimliliğini ve ekipman uyumluluğunu artıran özel çözümlerin tasarlanmasına olanak tanır.

Oksitleyici Ortamlarda Kullanılabilir:Sağlam CVD SiC kaplama, oksidasyona karşı mükemmel koruma sağlayarak SiC Disk Süseptörünün oksitleyici ortamlarda güvenilir performans göstermesine olanak tanır. Bu, bunların uygulanabilirliğini daha geniş bir termal proses yelpazesine genişleterek çok yönlülük ve uyarlanabilirlik sağlar.

Sağlam, Tekrarlanabilir Performans:Yüksek sıcaklık ve vakum ortamları için tasarlanan SiC Disk Süseptör, sağlam ve tekrarlanabilir performans sunar. Dayanıklılığı ve tutarlılığı, onları kritik termal işleme uygulamaları için ideal hale getirir, arıza sürelerini ve bakım maliyetlerini azaltır ve uzun vadeli operasyonel güvenilirlik sağlar.

Semicorex, aşağıdakiler de dahil olmak üzere termal işleme ekipmanlarının çeşitli ihtiyaçlarını karşılamak için CVD SiC kaplı bileşenleri özelleştirme konusunda uzmanlaşmıştır:

Difüzörler:Gaz dağıtım homojenliğini ve proses tutarlılığını geliştirin.

İzolatörler:Yüksek sıcaklıktaki ortamlarda termal izolasyon ve koruma sağlayın.

Diğer Özel Termal Bileşenler:Özel proses gereksinimlerini karşılamak ve ekipman performansını optimize etmek için tasarlanmış özel çözümler.