SIC epitaksiyal modülü

Premium dereceden üretilen SIC kaplamalı grafitten üretilen Semicorex SIC epitaksiyal modülü, silikon karbür (sic) epitaksi süreçlerinin en zor unsurlarına dayanacak şekilde geliştirilen epitaksiyal ekipmanın bir parçasıdır. Kimyasal buhar birikimi (CVD) uygulamalarında yüksek sıcaklık için tasarlanan bu modül, yüksek kaliteli SIC'nin epitaksiyal büyümesi sırasında gofretler için stabilite ve desteği göstermede önemli bir bileşendir. Semicorex SIC modülü, kalite SIC spesifikasyonlarıyla tutarlı bir epitaksiyal malzemenin güvenilir ve tekrarlanabilir bir üretimi için etkili bir temel malzemedir.

Semicorex SIC modülü, yoğun ve eşit bir silikon karbür kaplama tabakası ile kaplı bir grafit substrattır ve en şiddetli işlem kimyalarında bile partikül kontaminasyonuna ve korozyona karşı dirençlidir. SIC kaplama, altta yatan grafitin kontaminasyonunu ve erozyonunu yasaklar ve 1600 ° C'ye kadar önemli mekanik destek ve koruma sağlar. SIC modülü, grafitin mukavemetini ve işlenebilirliğini silikon karbürün genel aşınma, korozyon ve kimyasal dirençli özellikleri ile birleştirerek, onu sert bir epitaksiyal atmosferde dayanıklılık açısından en uygun modül haline getirir.

Modül, termal döngü işlemi boyunca boyutsal değişikliği en aza indirirken, düzgün bir termal profil sağlamak için tasarlanmıştır. Bu termal homojenlik ve stabilite, gofret düzlüğünü ve epitaksi homojenliğini korumak için gereklidir. Eğer gofret yüksek termal iletkenliğe sahip kararlı bir pozisyon tutarsa, işleme sırasında gofret boyunca termal koşullar düzgün olacaktır, bu da verimi, kristal kalitesini ve parça arızası veya kontaminasyon ile ilişkili duruş süresini olumlu yönde etkiler.

SIC epitaksiyal modülü, sıcak duvar ve soğuk duvar dahil olmak üzere çeşitli epitaksiyal reaktörlerle uyumludur ve belirli reaktör düzenlerini ve müşteri ihtiyaçlarını karşılamak için şekil ve boyutlar için özelleştirme seçeneğine sahiptir. SIC epitaksiyal modülü, 4 inç, 6 inç ve ortaya çıkan 8 inç SIC epitaksi uygulamaları için çok uygun, ancak bunlarla sınırlı değildir. SIC epitaksiyal modülünün yüksek saflığı ve optimize edilmiş geometrisi nedeniyle, epitaksiyal tabakanın daha kontrollü büyümesini destekleyen gaz akışı dinamikleri ve termal gradyanlar üzerindeki etkisinde fiziksel girişim en aza indirilir.

Semicorex’in SIC epitaksiyal modülleri, eksantrik düzenekteki en yüksek kaliteli kontrollü parçayı temsil eder. Yüksek kaliteli kontrol protokollerine ek olarak, Semicorex, tek tip, yoğun ve düşük gişen SIC filmleri uygulamak için en son kaplama yöntemlerini kullanır. Semicorex, yüksek performanslı seramik kaplamalar ve grafit işleme geçmişine sahiptir ve partiden partiden mümkün olan en iyi ürün ömrünü, tutarlılığını ve proses stabilitesini sağlayan işlem avantajlarını tanımlar.

Malzeme kalitesinin cihaz performansını doğrudan etkilediği SIC güç cihazlarının hızlı gelişen alanında, epitaksiyal modül sadece bir sarf malzemesi değildir, aynı zamanda kritik bir kolaylaştırıcıdır. Semicorex'ten SIC kaplamalı grafit epitaksiyal modülü, SIC epitaksisinde verimlilik, verim ve maliyet etkinliği sınırlarını zorlamak isteyen müşteriler için sağlam ve güvenilir bir çözüm sunar.