SiC Epitaksi Reseptörü

Hassas bir şekilde hazırlanmış ve güvenilirlik için tasarlanmış SiC Epitaksi Süseptör, yüksek korozyon direnci, yüksek termal iletkenlik, termal şoka karşı direnç ve yüksek kimyasal stabilite özelliklerine sahiptir ve epitaksiyel bir atmosferde etkili bir şekilde çalışmasını sağlar. Bu nedenle SiC Epitaksi Susceptor bir çekirdek olarak kabul edilir ve MOCVD ekipmanında önemli bir bileşen. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

SiC Epitaksi Süseptör, MOCVD ekipmanında tek kristal substratları desteklemek ve ısıtmak için kullanılan kritik bir bileşendir. Termal kararlılık ve termal tekdüzelik gibi üstün performans parametreleri, epitaksiyel malzeme büyümesinin kalitesinde belirleyici bir rol oynayarak ince film malzemelerinde yüksek düzeyde tekdüzelik ve saflık sağlar.

SiC Epitaksi Süseptör mükemmel yoğunluğa sahiptir ve yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında etkili koruma sağlar. Ek olarak, yüksek seviyedeki yüzey düzlüğü, alt tabaka yüzeyinde tek kristal büyümesine yönelik gereksinimleri mükemmel şekilde karşılar.

SiC Epitaksi Süseptördeki minimum termal genleşme farklılıkları katsayısı, epitaksiyel substrat ile kaplama malzemesi arasındaki bağlanma gücünü önemli ölçüde artırır, böylece yüksek sıcaklıkta termal döngü yaşandıktan sonra çatlama olasılığını azaltır.

Aynı zamanda yüksek termal iletkenlik sergileyerek talaş büyümesi için hızlı ve eşit ısı dağılımını kolaylaştırır. Ayrıca yüksek erime noktası, sıcaklık direnci, oksidasyon direnci ve korozyon direnci, yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma ortamlarında kararlı çalışmayı mümkün kılar.

MOCVD ekipmanının reaksiyon odasının önemli bir bileşeni olan SiC Epitaksi Süseptörünün yüksek sıcaklık direnci, tekdüze termal iletkenlik, iyi kimyasal stabilite ve termal şoka karşı güçlü direnç gibi avantajlara sahip olması gerekir. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor bu gereksinimlerin tamamını karşılamaktadır.