SiC Proses Tüpleri

Semicorex SiC proses tüpleri, yarı iletken üretim prosesinde oksidasyon, difüzyon ve RTA/RTP'deki önemli yapısal bileşenlerdir. Genellikle reaktör fırın alanı olarak geniş çaplı bir tüp olup, tüm kimyasal işlemler içeride gerçekleşecektir. Dolayısıyla dayanıklılık ve termal şok direnci ürün için çok temel noktalardır.

SiC proses tüpleri şu şekilde yapılır:sinterlenmiş Silisyum KarbürSiSiC, SSiC veya RSiC olabilir ve yüzeyde ultra yüksek saflıkta bir katman oluşturacak CVD SiC kaplama olabilir. Parçacıklar, kül vb. nedeniyle oluşan kirliliği önleyebilir. Malzeme çok yüksek termal şok direncine sahiptir, bu nedenle SiC proses tüpleri yüksek sıcaklık direncinde stabil kalabilir ve yabancı maddelerin yüksek sıcaklıklarda çökelmesini ve dolayısıyla çevreyi kirletmesini önleyebilir.

Bu SiC proses tüpleri, reaktif gaz (oksijen), koruyucu gaz (nitrojen) ve minimum miktarda hidrojen klorür gazı içeren atmosferlerde kullanılmak üzere tasarlanmıştır ve 1250°C'ye kadar olağanüstü kimyasal direnç, termal stabilite ve malzeme saflığı sunar. Semicorex SiC Proses Tüpleri, en zorlu termal ve kimyasal koşullar altında üstün performans ve kullanım ömrü sağlamak için son teknoloji ürünü 3D baskı üretimini kimyasal buhar biriktirme (CVD) kaplamayla birleştirir.

Semicorex SiC Proses Tüpleri, geleneksel presle şekillendirilmiş veya birleştirilmiş tüp yerine 3D baskı entegre kalıplama işlemiyle üretilir. Bu üretim süreci, hiçbir eklem ve zayıf alan içermeyen, sürekli ve tutarlı bir seramik yapısına izin vererek, yüksek derecede karmaşıklık ve boyutsal doğruluk yaratır; bu da, mekanik mukavemeti arttırırken stres konsantrasyonlarını hafifletebilir. Ayrıca monolitik yapı, doğal gaza karşı sızdırmaz bir sızdırmazlık sağlayarak, yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında kirlenmeyi ve sızıntıyı azaltır.

Sic focus ring, china, tagagawa, supplier, pabrika, na -customize, bulk, advanced, matibaySiCGövdenin tamamı, reaktif atmosferler için mükemmel malzeme saflığı ve stabilite sağlayan, ultra düşük safsızlık oranına sahip (< 300 ppm) bir malzemedir. Ek olarak boru, korozyon direncini ve yüzey korumasını iyileştirmek için CVD silisyum karbür tabakasıyla (< 5 ppm) kaplanır.

Semicorex özelleştirilmiş hizmet sunmaktadır; gerekli spesifikasyon gereksinimlerini karşılamak için müşterilerin çizimlerine göre üretebiliriz. Dolayısıyla Semicorex SiC proses boruları alternatif olarak yalnızca yatay fırınlar için değil aynı zamanda dikey fırınlar için de uygun olabilir.