Silisyum Karbür Odak Halkaları

Silisyum karbür odak halkalarıgenellikle elektrostatik aynanın levha destek yüzeyinin etrafına yerleştirilen aşındırma ekipmanının reaksiyon odasına monte edilir. Bu kurulum düzenlemesi, levha kenarı ile elektrot arasındaki yükseklik farkını başarılı bir şekilde doldurabilir, düzgün aşındırma elde etmek için reaksiyon odasındaki plazmayı levha yüzeyine odaklayabilir ve ayrıca levha kenarının aşırı aşındırılması sorununu önlemek için plazmanın levha kenarından dışarı doğru difüzyonunu önleyebilir.

Yüksek kaliteli aşındırma bileşenleri, aşındırma işlemi için kararlı bir elektrik alanı ortamı sağlayabilir. Semicorex'in silisyum karbür odak halkaları yüksek performanslı malzemeden üretilmiştirsilisyum karbür malzemelerkimyasal buhar biriktirme yoluyla. Odak halkalarımız levhanın etrafındaki elektrik alanı dağılımını ayarlayarak, eşit olmayan elektrik alanlarının neden olduğu aşındırma sapmalarını veya deşarj olaylarını önemli ölçüde azaltabilir.

Yarı iletken plakalar partikül kirliliğine karşı kolaylıkla hassastır, bu nedenle plazma aşındırma işlemlerinin ultra temiz iyon aşındırma reaksiyon odalarında gerçekleştirilmesi gerekir. Aşındırma ekipmanının ana bileşeni olan silisyum karbür odak halkaları, gerçek operasyonda levha kenarıyla doğrudan temas eder; bu da ultra yüksek temizlik standartlarını karşılamak için gereklidir. Semicorex'in silisyum karbür odak halkaları, yarı iletken aşındırma işlemlerinin sıkı temizlik gereksinimlerini tam olarak karşılayabilen yüksek saflık ve düşük safsızlık içeriği avantajlarını sunar. Bu, levha kusurlarının azaltılmasına büyük ölçüde katkıda bulunur ve levha üretim verimini artırır.

Plazma aşındırma işlemi sırasında, flor ve oksijen gibi aşındırma gazları reaksiyon odasına verilir. Aşındırma ekipmanının kimyasal korozyon direnci, proses gazlarının neden olduğu uzun vadeli korozyon nedeniyle ciddi şekilde zorlanır. Silisyum karbür, plazma korozyonuna karşı üstün direnç özelliği ile odak halkası imalatı için en uygun malzeme seçimidir. Silikon karbür odak halkaları, korozyona bağlı bileşen hasarı olasılığını azaltarak ve sık değiştirme ve bakım ihtiyacını en aza indirerek, yarı iletken levha üretiminin verimliliğini önemli ölçüde artırabilir.