Katı Silisyum Karbür Yüzgeçler

Semicorex katısilisyum karbür yüzgeçlerTipik olarak RTP tavlama fırınları ve difüzyon fırınları gibi yarı iletken ısıl işlem ekipmanlarının dikey fırın tüplerinin içine ısı yalıtım bileşenleri olarak monte edilir. Semicorex katı silisyum karbür kanatçıklar, yüksek sıcaklıklı fırınlarda sıcaklık dağılımını etkili bir şekilde düzenleyebilir ve yüksek sıcaklıkların neden olduğu proses kapısı sızdırmazlık parçalarında oluşan ısı hasarını en aza indirebilir. Islak oksidasyon çalışma koşullarında Semicorex katı silisyum karbür kanatçıklar, nispeten düşük proses sıcaklıklarında su buharı yoğunlaşmasının proses sonuçları ve yarı iletken cihazlar üzerindeki olumsuz etkilerini etkili bir şekilde önlemek için kullanılabilir.

Semicorex katı silisyum karbür kanatçıkların avantajları

1. Mükemmel aşınma direnci

CVD SiC, elmastan sonra ikinci sırada gelen olağanüstü sertliğe sahip çok kristalli kübik kristal yapıya sahiptir. Semicorex katı silisyum karbür kanatçıkların mükemmel aşınma direnci, bu özelliğe atfedilir ve bu kanatçıkların kullanım ve değiştirme sırasında aşınmaya karşı dayanıklı olmalarını sağlar.

2. Üstün termal yönetim kapasitesi

CVD SiC, yaklaşık 2000°C'ye kadar sıcaklıklarda erimeyen veya yumuşamayan ve ultra yüksek sıcaklıkta süblimasyondan önce stabilitesini koruyan mükemmel termal direnç ve yüksek sıcaklık stabilitesi sağlar. Bu üstün termal özellikleri sayesinde Semicorex katı silisyum karbür kanatçıklar, zorlu yarı iletken ısıl işlem koşulları için oldukça uygundur.

3. Ultra yüksek temizlik

CVD-SiCBiriktirme işlemi sırasında sinterleme katkı maddeleri olmadan üretilir. Geleneksel reaksiyona bağlı silisyum karbür ile karşılaştırıldığında, %99,9995'in üzerine ulaşan çok daha yüksek bir saflığa sahiptir. Bu, proses ortamlarındaki yüksek sıcaklıkların neden olduğu Semicorex katı silisyum karbür kanatçıkların metalik kirlilikle kirlenmesini etkili bir şekilde önleyerek gelişmiş yarı iletken üretiminin temizlik gereksinimlerini mükemmel şekilde karşılar.

4. Güvenilir korozyon direnci

Semicorex katı silisyum karbür kanatçıklar, CVD SiC'nin yüksek sıcaklıklarda olağanüstü kimyasal inertliği sayesinde, yarı iletken ısıl işlem proseslerinde kullanılan yüksek derecede oksitleyici ve kuvvetli asidik proses gazlarına dayanabilir. Bu güvenilir korozyon direnci, hizmet ömrünü etkili bir şekilde uzatarak bileşen değiştirme maliyetlerini azaltır.

5. Hassas işleme doğruluğu

Farklı fırın tüpleriyle uyumluluğu sağlamak için Semicorex, katı silisyum karbür kanatçıkları çap, kalınlık, delik boyutu, düzlük ve boyut toleransları açısından müşteri gereksinimlerine göre özelleştirebilir. Bu yüksek standarttaki işleme hassasiyeti, ekipmandaki kanatçıkların istikrarlı çalışmasını garanti eder ve yarı iletken ısıl işlem uygulamalarının genel verimliliğini optimize etmeye yardımcı olur.