Alıcı Diski

Yüksek saflıkta grafitten üretilen ve MOCVD tekniği kullanılarak bir silisyum karbür (SiC) tabakasıyla kaplanan Semicorex Susceptor Disk, olağanüstü termal özellikleri olağanüstü kimyasal stabiliteyle birleştirir. Silisyum karbür kaplama, zorlu ortamlarda Süseptör Diskin bütünlüğünü korumak için çok önemli olan, yüksek sıcaklıklara ve aşındırıcı koşullara karşı mükemmel direnç sağlar.

Ek olarak, Suseptör Disk üzerindeki SiC kaplama termal iletkenliğini artırır, bu da tutarlı epitaksiyel büyüme için kritik önem taşıyan hızlı ve eşit ısı dağılımına olanak tanır. Isıyı verimli bir şekilde emer ve yayar, ince filmlerin birikmesi için gerekli olan sabit, tekdüze bir sıcaklık sağlar. Bu tekdüzelik, gelişmiş yarı iletken cihazların işlevselliği ve performansı açısından temel olan yüksek kaliteli epitaksiyel katmanlara ulaşmak için hayati öneme sahiptir.

Süseptör Diskin tasarımı aynı zamanda termal genleşme sorununu da ele almaktadır. Minimum termal genleşme katsayısı, epitaksiyel katmanlarla güçlü bir bağ sağlayarak termal döngü nedeniyle çatlama riskini azaltır. Bu özellik, Susceptor Disc'in yüksek erime noktası ve mükemmel oksidasyon direnciyle birleştiğinde zorlu koşullar altında güvenilir çalışmaya olanak tanır.

Bu gelişmiş özellikleriyle Susceptor Disc, modern MOCVD uygulamalarının sıkı gereksinimlerini karşılamakla kalmayıp, aşarak epitaksiyel büyüme sürecinin genel verimliliğini ve çıktısını artıran güvenilir, yüksek performanslı bir çözüm sağlar.