TaC Kaplamalı Boru

Semicorex TaC Kaplamalı Borunun gücü, temel malzeme ile özel kaplamanın sinerjik birleşiminde yatmaktadır:

Yüksek Saflıkta İzotropik Grafit Fondöten:TaC Kaplamalı Borunun çekirdeği, mükemmel termal iletkenliği, düşük termal genleşmesi ve termal şoka karşı doğal direnciyle tanınan ultra yüksek saflıkta izotropik grafitten oluşur. Bu temel, hızlı sıcaklık dalgalanmalarına ve yarı iletken işlemenin karakteristik özelliği olan yüksek termal yüklere dayanabilen sağlam ve istikrarlı bir platform sağlar.

Tantal Karbür---Dayanıklılık ve Hareketsizlik Kalkanı:CVD uygulanan TaC kaplama, grafit alt tabakayı dönüştürerek olağanüstü sertlik, aşınma direnci ve kimyasal eylemsizlik kazandırır. Bu koruyucu katman, yarı iletken üretimi sırasında karşılaşılan agresif gazlara, plazmalara ve reaktif türlere karşı bir bariyer görevi görerek tüpün yapısal bütünlüğünü ve uzun ömürlülüğünü sağlar.

Bu benzersiz malzeme kombinasyonu, gelişmiş yarı iletken üretimi için kritik olan bir dizi avantaja dönüşmektedir:

Rakipsiz Sıcaklık Dayanımı:TaC, silisyum karbürü (SiC) bile geride bırakarak, bilinen tüm malzemeler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu aşırı sıcaklık direnci, TaC Kaplamalı Borunun 2500°C'yi aşan sıcaklıklar gerektiren işlemlerde güvenilir bir şekilde çalışmasına olanak tanıyarak, zorlu termal bütçelere sahip yeni nesil yarı iletken cihazların üretimini mümkün kılar.

Kritik Proses Kontrolü için Ultra Yüksek Saflık:Yarı iletken üretiminde bozulmamış proses ortamlarının korunması çok önemlidir. Yüksek saflıkta grafit kullanımı ve titiz CVD kaplama işlemi, TaC Kaplamalı Tüpten minimum düzeyde gaz çıkışı veya partikül oluşumunu sağlayarak hassas levha yüzeylerini ve cihaz performansını tehlikeye atabilecek kirlenmeyi önler.

Değişmez Kimyasal Direnç:TaC Kaplamalı Borunun kimyasal inertliği, aşındırma, biriktirme ve tavlama gibi yarı iletken işlemlerde yaygın olarak kullanılan çok çeşitli aşındırıcı gazlara, reaktif iyonlara ve plazma ortamlarına karşı olağanüstü direnç sağlar. Bu güçlü kimyasal stabilite, boru ömrünün uzaması, bakım gereksinimlerinin azalması ve genel sahip olma maliyetinin azalması anlamına gelir.

Daha Uzun Hizmet Ömrü için Geliştirilmiş Mekanik Dayanıklılık:TaC kaplama ile grafit alt tabaka arasındaki güçlü bağlanma kuvveti, TaC Kaplamalı Borunun doğal sertliğiyle birleşerek aşınmaya, erozyona ve mekanik strese karşı olağanüstü direnç sağlar. Bu gelişmiş dayanıklılık, daha uzun hizmet ömrü ve değiştirme için daha az aksama süresi anlamına gelir, süreç verimliliğini ve verimi artırır.