TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
Projeler |
Parametreler |
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
Emissivite |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sertlik (HK) |
2000 |
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termal Kararlılık |
<2500°C |
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
Sızdırmazlık bileşenlerine uygulanan Semicorex TaC kaplı Conta Halkası, yarı iletken imalatının zorlu ortamlarında olağanüstü performans avantajları sağlar. TaC kaplama, kimyasal direnç, aşırı sıcaklıklar ve mekanik aşınma ile ilgili kritik zorlukları ele alarak daha yüksek proses verimi, artan ekipman çalışma süresi ve sonuçta daha düşük üretim maliyetleri sağlar. Semicorex olarak biz, kaliteyi maliyet verimliliğiyle birleştiren yüksek performanslı TaC kaplı Conta Halkası üretmeye ve tedarik etmeye kendimizi adadık.**
Devamını okuTalep GönderSemicorex Tantal Karbür Kaplamalı Süseptör, yarı iletken levhalar oluşturmak için gerekli olan biriktirme süreçlerinde önemli bir rol oynayan kritik bir bileşendir. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz*.
Devamını okuTalep GönderSemicorex Tantal Karbür Ayna, olağanüstü termal ve mekanik özellikleriyle tanınan, yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan gelişmiş bir bileşendir. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz*.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Halka, bu zorlu gereksinimleri karşılayan kritik bir bileşen olarak duruyor. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz*.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC kaplamalı duş başlığı, kimyasal buhar biriktirme işleminin ayrılmaz bir parçasıdır ve benzersiz performans ve uzun ömür sağlar. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz*.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC kaplamalı ayna, yarı iletken üretimi alanında önemli bir ilerlemeyi temsil etmektedir. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz*.
Devamını okuTalep Gönder