TaC kaplama grafiti, yüksek saflıkta bir grafit alt tabakanın yüzeyinin, özel bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemiyle ince bir tantal karbür tabakasıyla kaplanmasıyla oluşturulur.
Tantal karbür (TaC), tantal ve karbondan oluşan bir bileşiktir. Metalik elektrik iletkenliğine ve son derece yüksek bir erime noktasına sahiptir; bu da onu gücü, sertliği, ısı ve aşınma direnciyle bilinen refrakter bir seramik malzeme haline getirir. Tantal Karbürlerin erime noktası saflığa bağlı olarak yaklaşık 3880°C'ye ulaşır ve ikili bileşikler arasında en yüksek erime noktalarından birine sahiptir. Bu, MOCVD ve LPE gibi bileşik yarı iletken epitaksiyel işlemlerde kullanılan performans yeteneklerini yüksek sıcaklık taleplerinin aştığı durumlarda onu çekici bir alternatif haline getirir.
Semicorex TaC Kaplamanın malzeme verileri
Projeler |
Parametreler |
Yoğunluk |
14,3 (gram/cm³) |
Emissivite |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Sertlik (HK) |
2000 |
Direnç (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termal Kararlılık |
<2500°C |
Grafit Boyut Değişikliği |
-10~-20um (referans değeri) |
Kaplama Kalınlığı |
≥20um tipik değer (35um±10um) |
|
|
Yukarıdakiler tipik değerlerdir |
|
Semicorex Tantal Karbür Kaplamalı Halka, yarı iletken işlemede kullanılan çok önemli bir bileşendir. Yarı iletken makinelerdeki grafit bileşenlerin verimliliğini ve ömrünü artırmak için birden fazla işleve hizmet eden özel bir kaplamayla tasarlanmıştır. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Grafit Parçalar, yarı iletken işlemenin zorlu ortamına dayanacak şekilde özel olarak tasarlanmış hassas hazırlanmış bileşenlerdir. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplama Grafit Örtüsü, kristal büyütme ve epitaksiyel (epi) işlemler için termal uygulamalar alanında son teknoloji bir çözümü temsil eder. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplama Halkası, termal alanda monokristal büyüme alanında önemli bir bileşen olarak duruyor. Hassasiyet ve yenilikle tasarlanan bu özel kılavuz halkası, monokristal malzeme üretiminin karmaşık sürecinde çok önemli bir rol oynar. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Kaplamalı Gofret Tutucu, yarı iletken epitaksiyel (epi) işleme için Metal-Organik Kimyasal Buhar Biriktirme (MOCVD) fırınlarında kullanılan çok önemli bir bileşendir. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep GönderSemicorex TaC Tantal Karbür Kaplamalı Plaka, özellikle epitaksiyel (epi) işleme aşamasında yarı iletken üretiminin katı taleplerini karşılamak için tasarlanmış son teknoloji bir çözümdür. Semicorex, rekabetçi fiyatlarla kaliteli ürünler sunmaya kendini adamıştır; Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Devamını okuTalep Gönder