Üst Yarım Ay

Semicorex Üst Yarım Ay, epitaksiyal işleme ekipmanı için titizlikle tasarlanmış yarı dairesel bir gofret taşıyıcıdır. Epitaksiyal büyüme sürecinde kritik bir duyucu bileşeni olarak, bu kısım yüksek sıcaklıklı kimyasal buhar birikimi (CVD) sırasında silikon gofretleri desteklemek ve stabilize etmek için tasarlanmıştır. Yüksek saflıklı grafitten üretilen ve düzgün bir silikon karbür (sic) kaplama ile korunan üst yarım ay, yüksek hassasiyetli epitaks taleplerini karşılamak için mekanik sağlamlık, mükemmel termal iletkenlik ve olağanüstü korozyon direncini birleştirir.

Bu ürün, adını, tek cafil veya çok waser epitaksiyal reaktörlerde belirli dönme platformları için amaca yönelik olan farklı yarım ay geometrisinden türetir. Eşsiz şekli sadece düzgün gaz akışını ve termal dağılımı kolaylaştırmakla kalmaz, aynı zamanda mevcut ısıtma ve rotasyon düzeneklerine kolay entegrasyon sağlar. Yarı dairesel tasarım optimal gofret konumlandırmasını sağlar, termal stresi en aza indirir ve tüm gofret yüzeyinde düzgün epitaksiyal film kalınlığı elde etmede önemli bir rol oynar.

Üst Yarım Ay Ürünü, tekrarlanan çalışmalarda başarısızlığa karşı dirençle birlikte, aşırı yüksek sıcaklıklarda kararlı bir ultra ince yapının birleşik performans avantajları nedeniyle ultra ince grafitin bir substratı içerir. Kullanımı uzatmak için, kimyasal buhar biriktirme teknolojisi ile yüksek saflıkta yoğun bir SIC kaplaması uygulandı, grafit substratı HC1, Cl₂, silan ve diğer korozif proses gazlarından izole etti. Ne olursa olsun, SIC kaplama hem üst yarım ay ürününe hem de bütünlüğündeki parçalara daha dayanıklı ve daha uzatılabilir bir ömrü teşvik ederken, gofret ortamının kirlenmesini bile azaltır, sonuçta işlem verimi ve film kalitesinden yararlanır.

SIC tabakasının yüzey kaplaması belirtilmiştir ve bir substrat ve sabit film oluşumuna sabit ısı transferini teşvik etmek için düz veya pürüzsüzdür. Ayrıca, SIC kaplama, kusur duyarlı yarı iletken uygulamalarının temel faktörü olan parçacıkların oluşumuna karşı bileşen direncini geliştirir. Çok düşük guziyet ve 1200 ° C'nin üzerindeki çok düşük deformasyon dahil performans parametreleri, çok uzun çalışma döngüleri için etkili bileşenler, sistem kesinti süresi ve bakım maliyetlerini azaltır.

Semicorex Üst Yarım Ay, toleranslar, kaplama homojenliği ve malzeme seçimi açısından hiçbiri ikinci değildir. Grafit işlenmesinden, SIC kaplamalarının birikmesine ve son denetime kadar her adımda katı kalite kontrolü sürdürüyoruz, her birimin yarı iletken sınıfı ekipmanının gereken titiz standartları karşılamasını sağlıyoruz. Ayrıca, geometrileri, kalınlıkları ve yüzey tedavilerini özelleştirme deneyimimizin neredeyse tüm epitaksi platformlarına uygulandığı kabul edilmektedir.

Üst yarım ay, silikon veya bileşik yarı iletken epitaksi için gofret stabilitesi, termal homojenlik ve kontaminasyon kontrolü için kritik öneme sahiptir. Buna göre, SEMICOREX güvenilir, yüksek performanslı duyucu bileşenleri için müşteri beklentilerine ulaşmak için benzersiz uzmanlık, malzeme teknolojisi ve üretim tutarlılığından yararlanır.