Semicorex, çeşitli tiplerde 4H ve 6H SiC gofretler sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür ürünlerinin üreticisi ve tedarikçisiyiz. 4 İnçlik N-tipi SiC Alt Tabakamız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı dört gözle bekliyoruz.
Semicorex, N-tipi, P-tipi ve yüksek saflıkta yarı yalıtımlı gofretlere sahip 4H ve 6H substratlar dahil olmak üzere eksiksiz bir silisyum karbür (SiC) gofret ürünleri serisine sahiptir, bunlar epitaksili veya epitaksisiz olabilir. 4 inçlik N-tipi SiC (silikon karbür) substrat, N-tipi katkılı tek bir silikon karbür kristalinden yapılmış yüksek kaliteli bir gofret türüdür.
4 İnç N-tipi SiC Substrat ağırlıklı olarak yeni enerji araçlarında, yüksek gerilim iletim ve trafo merkezlerinde, beyaz eşyalarda, yüksek hızlı trenlerde, elektrik motorlarında, fotovoltaik invertörlerde, darbeli güç kaynaklarında ve azaltma avantajlarına sahip diğer alanlarda kullanılır. enerji kaybı, ekipman güvenilirliğini artırma, ekipman boyutunu küçültme ve ekipman performansını iyileştirme ve güç elektroniği cihazlarının yapımında vazgeçilmez avantajlara sahiptir.
Öğeler |
Üretme |
Araştırma |
Kukla |
Kristal Parametreleri |
|||
politip |
4 saat |
||
Yüzey yönlendirme hatası |
<11-20 >4±0.15° |
||
Elektrik Parametreleri |
|||
katkı maddesi |
n tipi Azot |
||
Direnç |
0,015-0,025ohm·cm |
||
Mekanik Parametreler |
|||
Çap |
99,5 - 100mm |
||
Kalınlık |
350±25 μm |
||
Birincil düz yönlendirme |
[1-100]±5° |
||
Birincil düz uzunluk |
32,5±1,5 mm |
||
İkincil düz konum |
90° CW birincil düzlemden ±5°. silikon yüz yukarı |
||
İkincil düz uzunluk |
18±1,5 mm |
||
TTV |
â¤5 μm |
â¤10 μm |
â¤20 μdk |
YBD |
â¤2 μm(5mm*5mm) |
â¤5 μm(5mm*5mm) |
yok |
Yay |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
çözgü |
â¤20 μdk |
â¤45 μm |
â¤50 μdk |
Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Yapı |
|||
Mikro boru yoğunluğu |
â¤1 adet/cm2 |
â¤5 adet/cm2 |
â¤10 adet/cm2 |
Metal safsızlıkları |
â¤5E10atom/cm2 |
yok |
|
BPD |
â¤1500 adet/cm2 |
3000 adet/cm2 |
yok |
TSD |
â¤500 adet/cm2 |
â¤1000 adet/cm2 |
yok |
Ön Kalite |
|||
Ön |
Si |
||
Yüzey |
Si-yüzlü CMP |
||
parçacıklar |
â¤60adet/gofret (boyutâ¥0,3μm) |
yok |
|
çizikler |
â¤2ea/mm. Kümülatif uzunluk â¤Çap |
Kümülatif uzunlukâ¤2*Çap |
yok |
Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik |
Hiçbiri |
yok |
|
Kenar yongaları/girintiler/kırık/altıgen plakalar |
Hiçbiri |
yok |
|
Politip alanlar |
Hiçbiri |
Kümülatif alanâ¤20% |
Kümülatif alanâ¤30% |
Ön lazer markalama |
Hiçbiri |
||
Arka Kalite |
|||
Geri bitirmek |
C-yüzlü CMP |
||
çizikler |
â¤5ea/mm,Kümülatif uzunlukâ¤2*Çap |
yok |
|
Sırt kusurları (kenar talaşları/girintileri) |
Hiçbiri |
||
Geri pürüzlülük |
Raâ¤0.2nm (5μm*5μm) |
||
Geri lazer markalama |
1 mm (üst kenardan) |
||
Kenar |
|||
Kenar |
Pah |
||
Ambalajlama |
|||
Ambalajlama |
İç torba azotla doldurulur ve dış torba vakumlanır. Çoklu gofret kaseti, epi-hazır. |
||
*Notlarï¼ "NA" istek yok anlamına gelir Bahsedilmeyen öğeler SEMI-STD'ye atıfta bulunabilir. |