Semicorex çeşitli tiplerde 4H ve 6H SiC levhalar sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür ürünlerinin üreticisi ve tedarikçisiyiz. 4 İnç N-tipi SiC Substratımız iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex, N tipi, P tipi ve yüksek saflıkta yarı yalıtımlı levhalara sahip 4H ve 6H substratları içeren eksiksiz bir silikon karbür (SiC) levha ürünleri serisine sahiptir; bunlar epitaksili veya epitaksisiz olabilir. 4 inç N tipi SiC (silisyum karbür) alt tabaka, N tipi katkılı tek bir silikon karbür kristalinden yapılan yüksek kaliteli bir levha türüdür.
4 İnç N-tipi SiC Substrat esas olarak yeni enerji araçlarında, yüksek gerilim iletim ve trafo merkezlerinde, beyaz eşyalarda, yüksek hızlı trenlerde, elektrik motorlarında, fotovoltaik invertörlerde, darbeli güç kaynaklarında ve ekipmanı azaltma avantajlarına sahip diğer alanlarda kullanılır. enerji kaybı, ekipman güvenilirliğinin arttırılması, ekipman boyutunun küçültülmesi ve ekipman performansının iyileştirilmesi ve güç elektroniği cihazlarının yapımında yeri doldurulamaz avantajlara sahiptir.
Öğeler |
Üretme |
Araştırma |
kukla |
Kristal Parametreleri |
|||
Politip |
4 saat |
||
Yüzey yönlendirme hatası |
<11-20 >4±0,15° |
||
Elektriksel Parametreler |
|||
katkı maddesi |
n-tipi Azot |
||
Direnç |
0,015-0,025ohm·cm |
||
Mekanik Parametreler |
|||
Çap |
99,5 - 100 mm |
||
Kalınlık |
350±25 mikron |
||
Birincil düz yönlendirme |
[1-100]±5° |
||
Birincil düz uzunluk |
32,5±1,5 mm |
||
İkincil düz konum |
Ana daireden 90° CW ±5°. silikon yüzü yukarı |
||
İkincil düz uzunluk |
18±1,5 mm |
||
TTV |
≤5 μm |
≤10 mikron |
≤20 mikron |
YBD |
≤2 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
O |
Yay |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Çözgü |
≤20 mikron |
≤45 mikron |
≤50 mikron |
Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Yapı |
|||
Mikro boru yoğunluğu |
≤1 adet/cm2 |
≤5 adet/cm2 |
≤10 adet/cm2 |
Metal yabancı maddeleri |
≤5E10atom/cm2 |
O |
|
BPD |
≤1500 adet/cm2 |
≤3000 adet/cm2 |
O |
TSD |
≤500 adet/cm2 |
≤1000 adet/cm2 |
O |
Ön Kalite |
|||
Ön |
Ve |
||
Yüzey kalitesi |
Si-yüzlü CMP |
||
Parçacıklar |
≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) |
O |
|
çizikler |
≤2 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap |
Kümülatif uzunluk≤2*Çap |
O |
Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik |
Hiçbiri |
O |
|
Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar |
Hiçbiri |
O |
|
Çok tipli alanlar |
Hiçbiri |
Kümülatif alan≤%20 |
Kümülatif alan≤30% |
Ön lazer markalama |
Hiçbiri |
||
Arka Kalite |
|||
Arka kaplama |
C-yüzlü CMP |
||
çizikler |
≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap |
O |
|
Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) |
Hiçbiri |
||
Sırt pürüzlülüğü |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Arka lazer markalama |
1 mm (üst kenardan) |
||
Kenar |
|||
Kenar |
Pah |
||
Ambalajlama |
|||
Ambalajlama |
İç torba nitrojenle doldurulur ve dış torba vakumlanır. Çoklu yonga kaseti, epi-hazır. |
||
*Notlar: "NA" talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. |