Semicorex çeşitli tiplerde 4H ve 6H SiC levhalar sağlar. Uzun yıllardır silisyum karbür ürünlerinin üreticisi ve tedarikçisiyiz. Çift cilalı 6 İnç Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Gofretimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex, N-tipi, P-tipi ve yüksek saflıkta yarı yalıtımlı levhalara sahip 4H ve 6H substratları içeren eksiksiz bir silikon karbür (SiC) levha ürünleri serisine sahiptir; bunlar epitaksili veya epitaksisiz olabilir.
6 İnç Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Plakamızın 6 inç çapı, MOSFET'ler, Schottky diyotlar ve diğer yüksek voltaj uygulamaları gibi güç elektroniği cihazlarının üretimi için geniş bir yüzey alanı sağlar. 6 İnç Yarı Yalıtımlı HPSI SiC Gofret esas olarak 5G iletişimlerinde, radar sistemlerinde, yönlendirme kafalarında, uydu iletişimlerinde, savaş uçaklarında ve diğer alanlarda RF aralığını geliştirme, ultra uzun menzilli tanımlama, anti-parazit ve yüksek avantajlarla kullanılır. -hızlı, yüksek kapasiteli bilgi aktarım uygulamaları, mikrodalga güç cihazlarının yapımı için en ideal alt tabaka olarak kabul edilir.
Özellikler:
● Çap: 6″
●Çift cilalı
● Derece: Üretim, Araştırma, Sahte
● 4H-SiC HPSI Gofret
● Kalınlık: 500±25 μm
● Mikroboru Yoğunluğu: ≤1 adet/cm2~ ≤15 adet/cm2
Öğeler |
Üretme |
Araştırma |
kukla |
Kristal Parametreleri |
|||
Politip |
4 saat |
||
Eksen üzerinde yüzey yönlendirmesi |
<0001 > |
||
Eksen dışı yüzey yönlendirmesi |
0±0,2° |
||
(0004)FWHM |
≤45 yay saniye |
≤60 yay saniye |
≤1OOarcsec |
Elektriksel Parametreler |
|||
Tip |
HPSI |
||
Direnç |
≥1 E8ohm·cm |
%100 alan > 1 E5ohm·cm |
%70 alan > 1 E5ohm·cm |
Mekanik Parametreler |
|||
Çap |
150±0,2 mm |
||
Kalınlık |
500±25 mikron |
||
Birincil düz yönlendirme |
[1-100]±5° veya Çentik |
||
Birincil düz uzunluk/derinlik |
47,5±1,5 mm veya 1 - 1,25 mm |
||
TTV |
≤5 mikron |
≤10 mikron |
≤15 mikron |
YBD |
≤3 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
≤10 μm(5mm*5mm) |
Yay |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Çözgü |
≤35 mikron |
≤45 mikron |
≤55 mikron |
Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Yapı |
|||
Mikro boru yoğunluğu |
≤1 adet/cm2 |
≤10 adet/cm2 |
≤15 adet/cm2 |
Karbon içerme yoğunluğu |
≤1 adet/cm2 |
O |
|
Altıgen boşluk |
Hiçbiri |
O |
|
Metal yabancı maddeleri |
≤5E12atom/cm2 |
O |
|
Ön Kalite |
|||
Ön |
Ve |
||
Yüzey kalitesi |
Si-yüzlü CMP |
||
Parçacıklar |
≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) |
O |
|
çizikler |
≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap |
Kümülatif uzunluk≤300mm |
O |
Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik |
Hiçbiri |
O |
|
Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar |
Hiçbiri |
||
Politip alanları |
Hiçbiri |
Kümülatif alan≤%20 |
Kümülatif alan≤30% |
Ön lazer markalama |
Hiçbiri |
||
Arka Kalite |
|||
Arka kaplama |
C-yüzlü CMP |
||
çizikler |
≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap |
O |
|
Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) |
Hiçbiri |
||
Sırt pürüzlülüğü |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Arka lazer markalama |
"YARI" |
||
Kenar |
|||
Kenar |
Pah |
||
Ambalajlama |
|||
Ambalajlama |
Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı |
||
*Notlar: "NA", talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. |