Semicorex çeşitli tiplerde 4H ve 6H SiC levhalar sağlar. Uzun yıllardır gofret üreticisi ve tedarikçisiyiz. Çift cilalı 6 İnç N-tipi SiC Gofretimiz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.
Semicorex, N-tipi, P-tipi ve yüksek saflıkta yarı yalıtımlı levhalara sahip 4H ve 6H substratları içeren eksiksiz bir silikon karbür (SiC) levha ürünleri serisine sahiptir; bunlar epitaksili veya epitaksisiz olabilir. 4 inçlik N tipi SiC (silisyum karbür) alt tabakamız, çift cilalı, N tipi katkılı tek kristal silisyum karbürden yapılan yüksek kaliteli bir levha türüdür.
6 İnç N-tipi SiC Gofret esas olarak yeni enerji araçlarında, yüksek gerilim iletim ve trafo merkezlerinde, beyaz eşyalarda, yüksek hızlı trenlerde, elektrik motorlarında, fotovoltaik invertörlerde, darbeli güç kaynaklarında ve ekipmanı azaltma avantajlarına sahip diğer alanlarda kullanılır. enerji kaybı, ekipman güvenilirliğinin arttırılması, ekipman boyutunun küçültülmesi ve ekipman performansının iyileştirilmesi ve güç elektroniği cihazlarının yapımında yeri doldurulamaz avantajlara sahiptir.
Öğeler |
Üretme |
Araştırma |
kukla |
Kristal Parametreleri |
|||
Politip |
4 saat |
||
Yüzey yönlendirme hatası |
<11-20 >4±0,15° |
||
Elektriksel Parametreler |
|||
katkı maddesi |
n-tipi Azot |
||
Direnç |
0,015-0,025ohm·cm |
||
Mekanik Parametreler |
|||
Çap |
150,0±0,2 mm |
||
Kalınlık |
350±25 mikron |
||
Birincil düz yönlendirme |
[1-100]±5° |
||
Birincil düz uzunluk |
47,5±1,5 mm |
||
İkincil daire |
Hiçbiri |
||
TTV |
≤5 μm |
≤10 mikron |
≤15 mikron |
YBD |
≤3 μm(5mm*5mm) |
≤5 μm(5mm*5mm) |
≤10 μm(5mm*5mm) |
Yay |
-15μm ~ 15μm |
-35μm ~ 35μm |
-45μm ~ 45μm |
Çözgü |
≤35 mikron |
≤45 mikron |
≤55 mikron |
Ön (Si-yüz) pürüzlülük (AFM) |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Yapı |
|||
Mikro boru yoğunluğu |
<1 adet/cm2 |
<10 adet/cm2 |
<15 adet/cm2 |
Metal yabancı maddeleri |
≤5E10atom/cm2 |
O |
|
BPD |
≤1500 adet/cm2 |
≤3000 adet/cm2 |
O |
TSD |
≤500 adet/cm2 |
≤1000 adet/cm2 |
O |
Ön Kalite |
|||
Ön |
Ve |
||
Yüzey kalitesi |
Si-yüzlü CMP |
||
Parçacıklar |
≤60ea/wafer (boyut≥0,3μm) |
O |
|
çizikler |
≤5 adet/mm. Kümülatif uzunluk ≤Çap |
Kümülatif uzunluk≤2*Çap |
O |
Portakal kabuğu/çukurlar/lekeler/çizgiler/çatlaklar/kirlilik |
Hiçbiri |
O |
|
Kenar talaşları/girintiler/kırık/altıgen plakalar |
Hiçbiri |
||
Politip alanları |
Hiçbiri |
Kümülatif alan≤%20 |
Kümülatif alan≤30% |
Ön lazer markalama |
Hiçbiri |
||
Arka Kalite |
|||
Arka kaplama |
C-yüzlü CMP |
||
çizikler |
≤5ea/mm, Kümülatif uzunluk≤2*Çap |
O |
|
Sırt kusurları (kenar talaşları/girintiler) |
Hiçbiri |
||
Sırt pürüzlülüğü |
Ra≤0,2nm (5μm*5μm) |
||
Arka lazer markalama |
1 mm (üst kenardan) |
||
Kenar |
|||
Kenar |
Pah |
||
Ambalajlama |
|||
Ambalajlama |
Vakumlu paketleme ile epi-hazır Çoklu gofret kaset ambalajı |
||
*Notlar: "NA", talep olmadığı anlamına gelir. Belirtilmeyen öğeler YARI-STD'ye atıfta bulunabilir. |