6 inç SiC Tekne

Semicorex 6 İnç SiC Tekne, özellikle oksidasyon, difüzyon ve diğer termal işlemler gibi uygulamalar için yüksek sıcaklıkta yarı iletken işlemenin performansını ve verimliliğini optimize etmek üzere tasarlanmış gelişmiş bir levha taşıyıcısıdır. Yüksek kaliteli silisyum karbürden (SiC) üretilen bu ürün, kritik yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında yarı iletken levhaları tutmak için sağlam bir çözüm sunarak üstün termal stabilite, mükemmel korozyon direnci ve minimum kirlenme riski sağlar.

6 İnç SiC Tekne, olağanüstü termal özellikleri, kimyasal direnci ve zorlu ortamlarda dayanıklılığı ile bilinen bir malzeme olan yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kullanılarak üretilmiştir. SiC, yüksek erime noktası (yaklaşık 2.700°C) nedeniyle yarı iletken üretiminde yaygın olarak kullanılır ve bu da onu oksidasyon ve difüzyon fırınlarında levha işleme gibi yüksek sıcaklık uygulamaları için ideal kılar. Teknenin tasarımı, yarı iletken kristal büyümesi, oksidasyon ve diğer termal işlemlerde tutarlı sonuçlar elde etmek için çok önemli olan mükemmel yapısal bütünlük ve düzgün ısı dağılımı sağlar.

Temel Özellikler ve Faydalar

Yüksek Termal Kararlılık

SiC'nin olağanüstü termal iletkenliği, 6 İnç SiC Teknenin bükülmeden veya bozulmadan aşırı sıcaklıklara dayanabilmesini sağlar. Bu özellik, tutarlı levha işleme için hassas sıcaklık kontrolünün gerekli olduğu oksidasyon ve difüzyon prosesleri sırasında özellikle değerlidir.

Mükemmel Kimyasal Direnç

Silisyum karbürün kimyasal korozyona karşı doğal direnci, tekneyi oksijen, nitrojen veya diğer reaktif elementler gibi agresif gazlara maruz kalmanın yaygın olduğu ortamlarda kullanım için ideal kılar. Tekne, yüksek sıcaklıktaki, kimyasal olarak reaktif ortamlarda yapısal bütünlüğünü ve performansını koruyarak kirlenme olasılığını azaltır.

Yüksek Sıcaklık Dayanıklılığı

6 İnç SiC Tekne, oksidasyon ve difüzyon da dahil olmak üzere birçok yüksek sıcaklıktaki yarı iletken prosesin gereksinimi olan 1.500°C'ye kadar sıcaklıklarda performans gösterecek şekilde tasarlanmıştır. Bu yüksek sıcaklık toleransı, zorlu uygulamalarda bile uzun bir hizmet ömrü sağlar.

Düşük Kontaminasyon Riski

Yarı iletken işlemedeki kritik faktörlerden biri, levha yüzeyinin kirlenmesini en aza indirmektir. SiC'nin düşük safsızlık seviyeleri ve reaktif olmayan yapısı, 6 İnç SiC Teknenin temiz ve kontrollü bir ortama katkıda bulunmasını sağlar ve böylece işleme sırasında istenmeyen kirlenme riskini azaltır.

Düzgün Gofret Desteği

Teknenin tasarımı, levhaların eşit şekilde desteklenmesini sağlar, optimum levha hizalamasını korur ve yüksek sıcaklıkta işleme sırasında herhangi bir sarkma veya yanlış hizalamayı önler. Bu tekdüze destek, tutarlı sonuçların sağlanması ve levha kusurlarının önlenmesi için gereklidir.

Özelleştirme Seçenekleri

6 İnç SiC Tekne, farklı levha türleri için özel boyutlar, şekiller ve konfigürasyonlar dahil olmak üzere özel müşteri gereksinimlerine uyacak şekilde özelleştirilebilir. İster oksidasyon, difüzyon veya diğer termal prosesler için kullanılsın, tekne müşterinin özel proses akışına göre optimize edilebilir.

Yarı İletken Üretimindeki Uygulamalar

6 İnç SiC Tekne öncelikle yarı iletken üretiminde yüksek sıcaklıktaki termal işlemlerde kullanılır. Başarılı gofret işleme için sıcaklık ve atmosferin hassas kontrolünün gerekli olduğu oksidasyon ve difüzyon fırınlarında özellikle etkilidir.

• Oksidasyon Süreci: Oksidasyon işlemi sırasında, silikon levhalar yüksek sıcaklıklarda oksijene maruz bırakılarak levha yüzeyinde ince bir silikon dioksit tabakası oluşturulur. 6 İnç SiC Tekne, bu yüksek sıcaklıktaki işlem sırasında levhaların güvenli ve eşit bir şekilde tutulmasını sağlar, deformasyonu veya yanlış hizalamayı önler ve düzgün oksit tabakası büyümesini sağlar.
• Difüzyon Süreci: Difüzyon işleminde, elektriksel özelliklerini değiştirmek için silikon levhaya katkı maddeleri eklenir. SiC Teknesi, yüksek sıcaklıkların ve difüzyon ortamının hassas kontrolünün çok önemli olduğu bu kritik adım sırasında levhalar için istikrarlı ve güvenilir destek sağlar. Mükemmel termal stabilitesi, istenilen katkı profiline ulaşmak için çok önemli olan eşit ısıtmayı sağlar.
• Diğer Yüksek Sıcaklık Uygulamaları: Oksidasyon ve difüzyonun ötesinde, 6 İnç SiC Tekne tavlama, nitrürleme ve epitaksiyel büyüme gibi diğer yüksek sıcaklıktaki işlemlerde de kullanılabilir. Yüksek termal iletkenliği ve termal şoka karşı direnci, onu yarı iletken cihaz imalatının çeşitli aşamaları için çok yönlü bir çözüm haline getirir.

Diğer Malzemelere Göre Avantajları

Kuvars veya grafit gibi geleneksel malzemelerle karşılaştırıldığında silisyum karbür, yarı iletken üretiminde önemli avantajlar sunar. Kuvars tekneler termal şoka ve kimyasal reaksiyonlara karşı daha hassastır, grafit tekneler ise gazı dışarı atabilir ve kirlenmeye neden olabilir. SiC tekneler ise kirlenme, termal dengesizlik veya bozulma riski olmadan zorlu ortamlarda performanslarını korur. Bu, 6 İnç SiC Tekneyi yüksek sıcaklıkta yarı iletken işleme için daha güvenilir ve verimli bir seçim haline getirir.

Semicorex 6 İnç SiC Tekne, yarı iletken endüstrisinde kritik bir bileşendir ve gelişmiş levha işleme için gerekli stabiliteyi, kimyasal direnci ve termal performansı sağlar. Yüksek termal iletkenliği, kimyasal korozyona karşı direnci ve minimum kirlenme riski, onu oksidasyon, difüzyon ve diğer yüksek sıcaklıktaki yarı iletken işlemler için ideal seçim haline getirir. İster araştırma ve geliştirmede ister büyük ölçekli üretimde kullanılsın, 6 İnç SiC Tekne yarı iletken üretiminde en yüksek kalitede sonuçları sağlamak için gereken performansı ve güvenilirliği sunar.