Alüminyum nitrür ısıtıcılar

Semicorex alüminyum nitrür ısıtıcılar, yüksek termal iletkenlik, elektrik yalıtımı ve olağanüstü dayanıklılık gerektiren uygulamalar için tasarlanmış son teknoloji seramik ısıtma elemanlarıdır. Alüminyum nitrür seramikten tasarlanan bu ısıtıcılar, hızlı ve düzgün ısıtma sağlar, bu da onları yarı iletken işleme, tıbbi teşhis ve gelişmiş analitik enstrümantasyon gibi yüksek hassasiyetli ortamlar için ideal hale getirir.

Alüminyum nitrür ısıtıcıları, yarı iletken ince film biriktirme ekipmanındaki temel bileşenlerdir. Doğrudan işlem odasına ve gofretle doğrudan temas halinde uygulanırlar. Sadece gofretleri taşımakla kalmaz, aynı zamanda gofretin bir 

Kararlı ve tek tip proses sıcaklığı. Bu özellik, gofret yüzeyinde yüksek hassasiyetli reaksiyonlar ve düzgün ince filmlerin üretimi için gereklidir.

Tipik olarak, alüminyum nitrür ısıtıcılar, bir gofret yükleme yüzeyine sahip bir seramik substrat ve onu arkada destekleyen bir silindirik destek gövdesi içerir. Isıtma için dirençli bir ısıtma devresine ek olarak, seramik substratın içinde veya yüzeyinde bir RF elektrodu ve bir elektrostatik menkul kıymlama elektrotu ve diğer iletkenler de sağlanır.

İnce film biriktirme ekipmanı genellikle seramik malzemeleri kullanır.Alüminyum nitrür (ALN)çünkü yüksek sıcaklık bir ortam içerir. Alüminyum nitrür ısıtıcılarının yarı iletken üretiminde tercih edilmesinin nedeni, esas olarak benzersiz fiziksel ve kimyasal özelliklerinden kaynaklanmaktadır. Alüminyum nitrür sadece yüksek termal iletkenliğe sahip olmakla kalmaz ve kısa sürede hızlı ısıtma ve soğutma sağlayabilir, aynı zamanda iyi elektrik yalıtımına ve mekanik mukavemete sahiptir, bu da ısıtıcının stabilitesini ve güvenilirliğini sağlar. Ek olarak, alüminyum nitrürün termal genleşme katsayısı, termal stresin gofret üzerindeki etkisini azaltmaya ve işlem verimini iyileştirmeye yardımcı olan silikonunkine benzer.

Genel olarak konuşursak,seramik ısıtıcılaresas olarak ince film biriktirme ekipmanlarında kullanılır. Yüksek sıcaklık işlemleri içerdiğinden, kullanılan seramik malzeme esas olarak alüminyum nitrürdür; Elektrostatik aynalar esas olarak dağlama ekipmanlarında kullanılır ve kullanılan seramik malzeme esas olarak alüminyum oksittir. Yarı iletken teknolojisinin geliştirilmesiyle, seramik ısıtıcılar ve elektrostatik mandren arasında bir örtüşme vardır. Örneğin, ince film biriktirme ekipmanlarında kullanılan seramik ısıtıcılar, yüksek sıcaklıkta ısıtma ve elektrostatik adsorpsiyonun ikili fonksiyonlarına sahip elektrostatik aynalar ile donatılmıştır. Gözden geçirme ekipmanlarında kullanılan elektrostatik tabakalar da yüksek sıcaklık işlemleri içermeye başlar ve seramik malzeme alüminyum oksitten alüminyum nitrüre değiştirilmelidir.