Özel SiC Konsol Küreği

Semicorex Özel SiC Konsol Paddle, silikon plakalarla yüklü kuvars veya SiC plaka teknelerinin yüksek sıcaklıktaki işleme bölgesine taşınmasından sorumlu olan, plaka yükleme sistemi ile difüzyon fırınının kalbi arasında kritik bağlantı görevi görür. Tasarımları ve malzeme özellikleri bu zorlu görev için titizlikle optimize edilmiştir:

Stabil Gofret Taşıma için Sağlam Konsol Yapısı:Fırının içine uzanan sert bir kolla karakterize edilen dirsekli tasarım, levha hareketi üzerinde olağanüstü stabilite ve hassas kontrol sağlar. Bu, yükleme ve boşaltma sırasında levhanın kırılması veya yanlış hizalanması riskini en aza indirerek sorunsuz ve titreşimsiz taşıma sağlar.

Verimli Toplu İşleme için Yüksek Yük Kapasitesi:SiC seramiklerinin doğal gücü ve sertliği, Özel SiC Konsol Paddle'ın ağır silikon plaka yüklerini taşımasına olanak tanıyarak her difüzyon döngüsünün verimini maksimuma çıkarır ve daha yüksek üretim hacimlerine katkıda bulunur.

Sorunsuz Entegrasyon için Hassas Boyutsal Kontrol: Özel SiC Konsol Paddle, hassas boyut spesifikasyonlarına göre titizlikle üretilmiştir, difüzyon fırını sistemine mükemmel uyum sağlar ve otomatik levha işleme robotlarıyla kusursuz entegrasyonu kolaylaştırır.

Özellikle SiC seramiklerinin seçimiReaksiyona Bağlı Silisyum Karbür (RBSiC)VeSinterlenmiş Silisyum Karbür (SSiC)Özel SiC Konsol Paddle için tercih edilen malzeme, yüksek sıcaklıktaki ortamlardaki olağanüstü performans özelliklerinden kaynaklandığı için:

Sarsılmaz Yüksek Sıcaklık Kararlılığı: Özel SiC Konsol Paddle, difüzyon fırınlarında karşılaşılan yüksek sıcaklıklarda (1600°C'ye kadar) bile deformasyona ve sürünmeye karşı olağanüstü direnç gösterir. Bu, tutarlı levha desteği sağlar ve levha tekdüzeliğini tehlikeye atabilecek sarkma veya bükülmeyi önler.

Olağanüstü Termal Şok Direnci:Hızlı sıcaklık geçişlerine zarar vermeden dayanma yeteneği, Özel SiC Konsol Paddle'ın sayısız difüzyon döngüsü boyunca bütünlüğünü korumak için çok önemlidir. SiC seramikleri bu açıdan öne çıkıyor ve maliyetli arıza sürelerine yol açabilecek çatlama veya kırılma riskini en aza indiriyor.

Hassas Hizalama için Düşük Termal Genleşme:SiC seramiklerinin minimum termal genleşmesi, Özel SiC Konsol Paddle'ın çalışma sırasında karşılaşılan geniş sıcaklık aralıklarında boyutsal stabilitesini korumasını sağlar. Bu, fırın içinde hassas levha hizalamasını korumak, tekdüze ısıtma ve tutarlı difüzyon profilleri sağlamak için kritik öneme sahiptir.