Özelleştirilmiş gözenekli seramik ayna, yarı iletken üretimi için özel olarak tasarlanmış üstün iş parçası bağlama ve sabitleme çözümüdür. Semicorex'i seçmek, güvenilir kaliteden, kişiselleştirme hizmetlerinden ve artan üretkenlikten yararlanacağınız anlamına gelir.
Özelleştirilmişgözenekli seramik aynataban ve gözenekli seramik plakadan oluşur. Bir vakum sistemine bağlanarak levha ile seramik arasındaki havanın boşaltılmasıyla düşük basınçlı ortam yaratılır. Vakum negatif basıncı altında levha ayna yüzeyine sıkı bir şekilde yapıştırılır ve sonuçta güvenli ve stabil bir sabitleme ve konumlandırma sağlanır.
Semicorex, lüks ve kişiselleştirilmiş hizmetler sunarken değerli müşterilerimizin temel ihtiyaçlarına sürekli olarak öncelik vermektedir. Nihai özelleştirilmiş gözenekli seramik aynaların çeşitli şekil ve boyutlardaki iş parçalarına sorunsuz bir şekilde uyum sağlamasını ve böylece ekipmanın çalışma verimliliğini ve üretim stabilitesini etkili bir şekilde artırmasını sağlayan çeşitli seçenekler sunuyoruz.
Özellikler:
|
Boyut |
4 inç/6 inç/8 inç/12 inç |
|
Düzlük |
2μm/2μm/3μm/3μm veya üzeri |
|
Gözenekli seramik plakanın malzemesi |
Alümina ve silisyum karbür |
|
Gözenekli seramiğin gözenek boyutu |
5-50μm |
|
Gözenekli seramiğin gözenekliliği |
%35-%50 |
|
Anti-statik fonksiyon |
İsteğe bağlı |
|
Temel malzeme |
Paslanmaz çelik, alüminyum alaşımı ve seramikler (silisyum karbür) |
Hassas işlenmiş özelleştirilmiş gözenekli seramik ayna, iş parçası yüzeyi boyunca eşit adsorpsiyon kuvveti dağılımı sağlayarak iş parçası deformasyonunu veya eşit olmayan kuvvet uygulamasının neden olduğu işleme hatalarını etkili bir şekilde önler. Ayrıca, güçlü kimyasal korozyon direnci ve olağanüstü yüksek sıcaklık direnci sayesinde özelleştirilmiş gözenekli seramik ayna, zorlu ve karmaşık üretim ortamlarında uzun süreli istikrarlı çalışmayı korur.
Uygulama senaryoları:
1. Yarı İletken İmalatı: Gofret inceltme, dilimleme, taşlama, cilalama gibi gofret işleme; kimyasal buhar biriktirme (CVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) prosesi; iyon implantasyonu.
2. Fotovoltaik Hücre İmalatı: Fotovoltaik hücrelerde silikon levhanın dilimlenmesi, kaplanması ve paketlenmesi işlemleri.
3. Hassas İşleme: İnce, kırılgan veya yüksek hassasiyetli iş parçalarının sıkıştırılması ve sabitlenmesi.