Silisyum Karbür Aynalar

Semicorexsilisyum karbür aynalarfonksiyonel adsorpsiyon cihazlarıdırsilisyum karbür(SiC) seramik malzeme. Çoğunlukla yarı iletkenlerde, fotovoltaiklerde, hassas üretimde ve yüksek sıcaklık dayanımı, aşınma direnci, kimyasal korozyon direnci ve malzemelerin temizliği açısından son derece yüksek gereksinimlere sahip diğer senaryolarda kullanılırlar.

SiC seramik malzemesi yüksek sıcaklık dayanımına sahiptir ve yüksek sıcaklık ortamlarında yapısal stabilitesini korur. Mükemmel termal iletkenliği, adsorpsiyon sırasında oluşan ısıyı hızla dağıtarak iş parçasının aşırı ısınmasını önler. Malzemenin olağanüstü sertliği onu kaba veya sert iş parçalarını kavramaya uygun hale getirir. Ayrıca SiC seramik malzemenin kimyasal inertliği, onu güçlü asitler, güçlü alkaliler ve organik çözücüler tarafından korozyona karşı dayanıklı hale getirir. Bu malzemenin düşük yabancı madde çökeltme performansı, yabancı madde kirlenmesini önler ve ekipmanın normal çalışma süresini uzatarak yarı iletken endüstrisinin ultra temiz gereksinimlerini karşılar.

Semicorex silisyum karbür aynaların tipik özellikleri

1.Yüksek hassasiyet: düzlük 0,3-0,5μm'dir.

2. Ayna parlatma

3.Ultra hafif

4.Yüksek sertlik

5.Düşük termal genleşme katsayısı

6. Mükemmel aşınma direnci

Silisyum karbür aynaların uygulama senaryoları

Yarı iletken üretimi

Gofret aktarımı ve işlenmesi: Fotolitografi ve aşındırma gibi işlemlerde, yer değiştirme hatalarını önlemek için gofretin vakum ortamında stabil bir şekilde adsorbe edilmesi gerekir.

Plazma korozyon direnci: Yarı iletken aşındırma işleminde mükemmel korozyon direnci, ürünün servis ömrünü uzatabilir.

Fotovoltaik hücre üretimi

Silikon levha kesme: Kesme titreşimine direnmek ve silikon levhaların parçalanma oranını azaltmak için silikon levhaları adsorbe eder.

Hassas optik ve elektronik üretimi

Safir substrat işleme: LED çip üretiminde kullanılan safir substratlar, vakumlu adsorpsiyon gerektirir. Adsorpsiyon kuvveti alt tabakanın ağırlığının üstesinden gelmeli ve ürün yüzeyinin çizilmesini önlemelidir.

Silisyum karbür aynalar, yarı iletkenler, fotovoltaikler ve hassas imalat gibi sektörlerde teknolojik ilerlemeyi teşvik eden mükemmel performansları nedeniyle üst düzey üretim alanında önemli sarf malzemeleri haline geldi.