Semicorex gözenekli alümina aynaları, yarı iletken üretiminde düzgün emme ve güvenli gofret taşıma sağlamak için tasarlanmış% 35-40 gözenekliliğe sahip mikro gözenekli siyah alümina vakum armatürüdür. Semicorex'i seçmek, güvenilir seramik mühendisliği, üstün malzeme kalitesi ve verim ve süreç kararlılığını koruyan tutarlı performans anlamına gelir.
Semicorex gözenekli alümina aynaları, en hassas gofretler için amaca yöneliktir. Gözenekli tasarımları, lokalize stres daha az olan ve kenar yongaması ve kırılmayı önlemeye yardımcı olan Chuck yüzeyi boyunca tutarlı vakum dağılımının güvencesini sağlar. Mekanik kelepçeleme (katı veya başka türlü), mikro gözenekli yapı aşınmayı önlediği ve hafif bir tutma sağladığı için, gofreti güvenli bir şekilde sabitlerken, aşırı kısıtlama mekanik stres olmadan hassas gofretleri bile tutan mikro gözenekli ağ kadar etkili değildir. Tüm Chuck yüzeyinde düzgün adsorpsiyon ihtiyacı, otomatik kullanım sırasında ve yüksek hassasiyetli işleme adımları yürütürken daha az stresi tolere edebilen daha büyük ve daha ince gofretler için özellikle kritiktir.
% 35-40 gözeneklilik için optimize edilmiş olan Chuck, havayı tahliye etmeye hizmet eden birbirine bağlı gözenekler ağı geliştirirken, gofreti süreç kuvvetlerine karşı yerinde tutmak için yeterli mekanik mukavemet sağlar. Bu, vakum tutma kuvvetinin, karmaşık bir işlem dizisi gerçekleştirirken, gofretleri hızlı bir şekilde hareket ederken sabit kaldığı anlamına gelir. Mikro gözenekli bir ağ içindeki adsorpsiyon, vakum sistemi içinde sadece basınç farklılıkları yaratmaktan daha fazla stabilite sağlar.
Siyah alümina (al₂o₃), kendisi nihai malzemedir, çünkü sert, aşınmaya dayanıklı ve kimyasal olarak inerttir. Kayda değer bir yüzeyi bozmaz ve gofretin tekrarlanan döngüleri (yerleştirme/ vakum adsorpsiyonu/ soğutma) ile etkilenmez. SiyahalüminaBoyutsal olarak kararlıdır, bu nedenle işlem sırasında (ısıtma ve soğutma) veya ortamda doğal olarak meydana gelen sıcaklık değişikliklerine rağmen değişmez.
Kimyasal direnç, siyah alüminanın bir başka temel avantajıdır. Chuck, yapısal bütünlüğünden ödün vermeden agresif temizlik, plazma ve aşındırma ortamlarında çalışabilir. Etılığı, gofret yüzeyinin kontaminasyonunu önler, yüksek işlem saflığı ve temiz oda standartlarına bağlılık sağlar.
Mikro gözenekli yapı ayrıca ince ve kırılgan gofretler üzerindeki stres konsantrasyonunu hafifleten destekleyici bir yüzey sunar. Hassas yüzey düzlüğü ve pürüzsüz yüzey kaplaması ile birlikte, gözenekli alümina mandrenleri, gofretin bütünlüğünü elden ödeyebilecek mikro çatlakların ve çiziklerin oluşumunu en aza indirecektir.
Alümina seramikMükemmel sertliğe, yüksek mekanik mukavemete, düşük termal genleşme katsayısına ve mükemmel termal stabiliteye sahiptir. Ayrıca, kimyasal inertliği asitlere, alkalilere ve plazmaya dayanabileceği anlamına gelirken, aşınma direnci özellikleri dayanıklılık sağlarken, bu avantajlar alüminayı mikro gözenekli vakum aynaları için tercih edilen malzeme haline getirir ve performansın hem güvenilirliğini hem de öngörülebilirliğini sağlar.
Sonuç olarak, gözenekli alümina aynaları, üniforma ve hayatta kalabilir gofret taşıma sağlamak için tasarlanmıştır. Mikro gözenekli siyah alümina yapısı, mekanik stresi ve gofret hasarının azaltılmasını en aza indirirken vakum adsorpsiyonu (tekdüzelik) bile sunar. Bir aynal olarak, olağanüstü termal, mekanik ve kimyasal özelliklerle birlikte önemli ve optimal gözeneklilik, sert üretim koşullarında operasyonun gofret güvenliğini, değerini ve güvenilirliğini optimize etmeye yardımcı olur. Gözenekli alümina chuck'ların üreticilere sunabileceği sağlam, üniform ve güvenli işlemenin mükemmel kombinasyonu sadece nadir ve benzersizdir.