Yatay oda fırını sic tekneleri

Semicorex Yatay Oda Fırını SIC tekneleri, yatay bir oda fırında yüksek sıcaklık termal işlemeye maruz kalırken, gofret veya substratları tutan ve taşıyan yüksek oranda tasarlanmış bir kısımdır. Gofret tekne yüksek saflıkta sic bağlı yapılmıştır Silikon Karbür (sic)yarı iletken, fotovoltaik ve gelişmiş seramik süreçlerinde talep edilen mukavemet, termal stabilite ve yüksek kimyasal direnç kombinasyonunu sağlar. Gofret teknesi ayrıca gofretleri yerinde tutmak için sert bir yapı görevi görür, gofretlerin boyutsal stabilitesi ve hassasiyeti aşırı işlem sıcaklıklarına uzun süre maruz kalarak kaybolmaz.

Silikon karbürün üstün özellikleri, yatay oda fırını sic teknelerine kuvars veya alümina gibi gofret tekneleri için tipik malzemelere kıyasla üstün bir performans avantajı sağlar. Isıtma ve soğutma hızı veya termal döngünün uç noktalarına bakılmaksızın, yüksek erime noktaları, termal şok dirençleri ve mekanik mukavemetleri nedeniyle nadiren kısa süreli ısıtma ve soğutma döngülerine daha iyi dayanabilirler. Yatay bir fırın tamamen gofret pozisyonlarının tutarlılığına ve işlem koşullarının maruz kalmasına dayandığından, gofretlerin uygun şekilde hizalanması tutarlı işlem verimi ve tekrarlanabilirlik sağlar. Termal genleşme katsayısı, teknenin ömrü boyunca çarpıtmayacağı ve gofretlerin korunmuş şekli ve aralığını sağlayacağı anlamına gelir.

Yeniden kristalize edilmiş SIC'nin ince taneli, yoğun yapısı, proses gazları ve yan ürünler tarafından oksidasyon, korozyon ve kontaminasyona dikkat çekici bir direnç sağlar. Bu, tekneyi difüzyon, oksidasyon, LPCVD ve tavlama gibi agresif atmosferlerdeki süreçler için özellikle avantajlı hale getirir. SIC'nin yüksek kimyasal inertliği, gofret yüzeyleri ile reaksiyonları önler, böylece ürün saflığını korur ve fırında partikül üretimini en aza indirir. SIC tekneleri, sıkı temizlik taleplerini karşılaması gereken üreticilere, daha temiz işleme ortamları ve gelişmiş gofret kalitesi sağlayabilir.

Bu tekneler, hassas işleme ve şekillendirme teknikleri ile çeşitli karmaşık geometriler ve kısmen spesifik boyutlarla üretilebilir. Tasarımlar genellikle gofretleri yatay bir yönde güvenli bir şekilde tutmak ve tüm gofret yüzeyini termal koşullara eşit olarak açıklamak için birden fazla paralel yuva/oluk kullanır. Yuva-yuva aralığı ve açılar, işleme için hala sıcaklık homojenliği elde ederken işleme efektleri sırasında 150 mm, 200 mm veya 300 mm gibi diğer çaplarda gofret ve doğrudan hava akışı için optimize edilebilir.

Yatay oda fırını SIC tekneleri standart kalkışlarda tasarlanamaz, aynı zamanda otomatik gofret yükleyicileri ile çalışmak için tasarlanabilir, bu da modern yüksek verimli üretim hatlarına kesintisiz bir entegrasyonla sonuçlanır. Sağlam tasarım aynı zamanda teknelerin kullanım sırasında yonga veya kırılma olasılığını azaltacak ve duruş sürelerini ve değiştirme maliyetlerini azaltacaktır.

Termal iletkenliksilikon karbürGofretler ve fırın ortamı arasında verimli ısı transferini kolaylaştıran bir başka temel avantajı temsil eder. Avantajı, üreticilerin daha düzgün işlem koşulları elde edebilmeleri ve üretim verimliliğini artırabilecek döngü sürelerini kısaltabilmeleridir. SIC tekneleri, yarı iletken gofret üretimi, güneş pili üretimi veya yüksek sıcaklıklarda diğer gelişmiş malzemeler işleme için kullanılmış olsunlar tutarlı ve tekrarlanabilir sonuçlar sağlar.

Özetle, yatay oda fırını SIC tekneleri, yüksek performanslı, uzun ömürlü ve kontaminasyona dayanıklı gofret taşıyıcılarına sahip gofret üretmek isteyen üreticiler için önemli bir bileşendir. Yatay fırın uygulamalarında eşsiz olmayan mekanik bir mukavemet, termal stabilite ve kimyasal atıllığa sahiptir. Silikon karbür teknelerini seçerek, operatörler daha iyi proses kontrolü, daha yüksek verimlerden yararlanabilir ve bakım nedeniyle operasyonel kesintileri en aza indirebilir. Genel olarak, daha verimli, uygun maliyetli üretimler sağlar.