Semicorex yatay silisyum karbür tekneler, birinci sınıf yarı iletken sınıfı silisyum karbürden hassas bir şekilde üretilen, son teknoloji yarı iletken üretim süreçleri için temel yatay levha taşıyıcılardır. Kapsamlı ve zaman içinde test edilmiş üretim yetenekleriyle Semicorex, seçkin müşterilerimize son derece uyumlu, özel olarak tasarlanmış yatay silisyum karbür tekneler sağlayabilir.
Semicorex yataysilisyum karbür tekneler3D baskı teknolojisi kullanılarak bütünleşik olarak şekillendiriliyor ve ardından yüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla üretiliyor. Çeşitli yüksek sıcaklıklı yatay fırın boyutlarına uyacak şekilde özel olarak tasarlanan bu bileşenler, difüzyon, oksidasyon ve kimyasal buhar biriktirme de dahil olmak üzere kritik yüksek sıcaklıktaki yarı iletken üretim süreçlerinde yonga levhanın sıkı bir şekilde tutulmasını sağlamak için yaygın olarak uygulanır.
| Özellikler |
Semicorex yatay silisyum karbür tekneler |
| Yığın Yoğunluğu |
3,05 g/cm³ |
| Parçacıklar |
3 mikron |
| Eğilme Dayanımı |
260 Mpa |
| Basınç Dayanımı |
500 MPa |
| Termal Genleşme Katsayısı (oda sıcaklığı ila 1000 ° C) |
4.3*10-6 |
| Saflık |
Dakikada 5,38 sayfa |
| Çekme modülü |
354 not ortalaması |
| Isı İletkenliği |
135 W/(m·K) |

Eşsiz malzeme gücü ve sertliği, Semicorex yatay silisyum karbür teknelere mükemmel destek kapasitesi sağlar ve bu da onların aynı anda birden fazla levhayı stabil bir şekilde taşımasına olanak tanır. Semicorex yatay silisyum karbür tekneler, hassas kanal işleme sayesinde yarı iletken plakaları sağlam bir şekilde sabitleyebilir ve güvenli bir şekilde tutabilir. Eşit aralıklı yuva yapısı, levhaların tüm işlem döngüsü boyunca sabit bir pozisyonda kalmasını sağlar, böylece yarı iletken üretim süreçlerinin tutarlılığını ve hassasiyetini garanti eder.
Üstün yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci sayesinde Semicorex yatay silisyum karbür tekneler, yüksek sıcaklıktaki oksijen, nitrojen veya düşük konsantrasyonlu hidrojen klorür atmosferleri gibi zorlu çalışma ortamlarına dayanma kapasitesine sahiptir. Bu olağanüstü malzeme özellikleri, teknelerin çalışma ömrünü büyük ölçüde uzatan, yüksek sıcaklıktaki aşındırıcı gazların neden olduğu korozyonu ve hasarı etkili bir şekilde önleyebilir.
Geleneksel silisyum karbür kaplı grafit teknelerden farklı olarak Semicorex yatay silisyum karbür tekneler yarı iletken sınıfı, yüksek saflıkta üretilirsilisyum karbür(%99,999) ultra düşük safsızlık içeriğine sahiptir. Bu birinci sınıf malzeme seçimi, yüksek sıcaklıklara ve zorlu aşındırıcı ortamlara maruz kalsa bile kirletici maddelerin gaz çıkışı veya kaplamanın soyulması riskini ortadan kaldırır. Ayrıca silisyum karbür teknelerimizin her biri, vakumlu paketleme öncesinde sıkı ultrasonik temizleme işlemlerine tabi tutulur; bu, gelişmiş yarı iletken üretim süreçlerinin gerektirdiği temizlik standartlarına uygunluğu garanti eder.