Mikro gözenekli sic Chuck

Semicorex Micropor Cush Sic Chuck, yarı iletken üretim uygulamalarında gofretlerin hassasiyeti için tasarlanmış son teknoloji ürünü bir vakum chuck gofretidir. Temizlik, aşındırma, biriktirme ve litografiyi içeren farklı gofret işleme aşamalarında toplama, tutma ve waft taşınmasının önemli bir parçası olarak işlev görür. Bu gofret chuck, karmaşık operasyonlar sırasında gofretin güvenli bir şekilde tutulması sonucunda mükemmel kavrama ve stabiliteyi garanti eder.

Semicorex mikro gözenekli sic Chuck, mikro gözenekli bir yüzey yapısına sahiptir; Bu, yüksek kaliteli silikon karbürden (sic) hazırlanır ve mükemmel termal stabilite, kimyasal direnç ve uzun süreli dayanıklılık sağlar. İşleme döngüsü boyunca güvenilir kullanım sağlarken gofretin hasarını en aza indirerek tüm gofret yüzeyinde düzgün emme kuvveti sağlar. Sunulan baz malzemeler SUS430 paslanmaz çelik, alüminyum alaşım 6061, yoğun alümina seramik, granit ve silikon karbür seramik içerir.

Özellikler ve faydalar

Mikro gözenekli yüzey yapısı: Sic Chuck, vakum emiliminin verimliliğini artıran mikro gözenekli bir yüzey ile tasarlanmıştır. Bu, hassas gofretlerin bile bozulma veya hasara neden olmadan güvenli bir şekilde yerinde tutulmasını sağlar.

Malzeme çok yönlülüğü: Chuck taban malzemesi belirli işlem ihtiyaçlarına uygun olarak özelleştirilebilir:

• SUS430 Paslanmaz Çelik: Standart uygulamalar için ideal olan uygun bir fiyata iyi korozyon direnci sunar.
• Alüminyum alaşım 6061: Yüksek termal iletkenliğe sahip hafif, yüksek sıcaklık stabilitesi gerektiren uygulamalar için mükemmel ısı dağılımı sunar.
• Yoğun alümina seramik (% 99 AL2O3): Yarı iletken üretiminde yüksek hassasiyetli uygulamalar için uygun olağanüstü elektrik yalıtım ve yüksek sıcaklık direnci sağlar.
• Granit: Olağanüstü mekanik özellikleri ile tanınan granit, mükemmel titreşim sönümleme sunar ve mekanik stabilitenin gerekli olduğu yerlerde yüksek hassasiyetli gofret taşıma için idealdir.
• Silikon karbür seramik: Yüksek termal iletkenlik ve termal şoka karşı direnç için nihai seçim, zorlu yarı iletken ortamlarda uzun süreli performans sağlar.

Üstün düzlük doğruluğu: Chuck, gofret taşıma hassasiyeti için gerekli olan olağanüstü düzlük içerir. Farklı taban malzemelerinin düzlük doğruluğu aşağıdaki gibi değişir:

Alüminyum Alaşım 6061: Orta düzgünlük ve hafiflik gerektiren uygulamalar için en uygun.

SUS430 Paslanmaz Çelik: Çoğu yarı iletken işlemi için yeterli olan iyi bir düzlük sunar.

Yoğun alümina (% 99 AL2O3): Hassas süreçler sırasında hassas gofret tutma sağlayarak en yüksek düzlüğü sağlar.

Granit ve SIC seramikleri: Her iki malzeme de yüksek düzlük ve mükemmel mekanik stabilite sunar ve zorunlu gofret taşıma için üstün doğruluk sağlar.

Özelleştirilebilir Ağırlık: Chuck’ın ağırlığı, seçilen temel malzemeye bağlıdır:

Alüminyum Alaşım 6061: En hafif malzeme, sık yeniden konumlandırma veya kullanım gerektiren işlemler için idealdir.

Granit: Aşırı kütle olmadan sağlam stabilite sağlayan orta ağırlık sunar.

Silikon karbür ve alümina seramikleri: En ağır malzemeler, zorlu uygulamalar için üstün güç ve sertlik sunar.

Yüksek hassasiyet ve stabilite: SIC Chuck, gofretlerin en az hassasiyetle ele alınmasını sağlar ve işleme aşamaları yoluyla ulaşım sırasında minimum gofret kayması veya deformasyon sunar.

Yarıiletken üreticisinde uygulamalarg

Mikro gözenekli sic Chuck, öncelikle yarı iletken imalat süreçleri içindeki gofret taşıma uygulamalarında kullanılır:

• Gofret Temizliği: Hasar vermeden eksiksiz ve düzgün temizlik sağlamak için temizleme işlemleri sırasında verimli bir şekilde gofret tutar.
• Dağlama ve litografi: Deste veya litografi adımları sırasında stabil gofret tutma sağlar, desende hassasiyet ve doğruluk sağlar.
• Biriktirme: Yarıiletken üretiminde ince film kaplamaları için çok önemli olan fiziksel buhar birikimi (PVD) veya kimyasal buhar birikimi (CVD) sırasında gofretleri korur.
• Muayene: Denetim aşamalarında güvenli gofret tutma sağlar, gofretin yüksek çözünürlüklü görüntüleme veya ölçümler için mükemmel bir şekilde hizalanmış ve sabit kalmasını sağlar.
• Ambalaj: Yongalar için çip ayrılmasından önce veya sonra gofretler için güvenli kullanım sağlar.

Semicorex Micropar Cons Sic Chuck, modern yarı iletken üretiminin ihtiyaçları göz önünde bulundurularak tasarlanmıştır. İster kolay yeniden konumlandırma için hafif malzemelere veya daha ağır, hassas kullanım için daha sert malzemelere ihtiyacınız olsun, Chuck'ımız kesin özelliklerinize uyacak şekilde özelleştirilebilir. Her biri belirli işleme ihtiyaçları için benzersiz faydalar sunan bir dizi temel malzeme seçeneği ile Semicorex, hassasiyet, çok yönlülük ve dayanıklılığı birleştiren bir ürün sunar. Ek olarak, mikro gözenekli yüzey, gofretlerin güvenli ve eşit bir şekilde tutulmasını sağlar, hasar riskini en aza indirir ve her işlemde kalite taşımasını sağlar.

Güvenilir, özelleştirilebilir ve yüksek performanslı gofret taşıma çözümleri arayan yarı iletken üreticileri için, Semicorex Microped Sic Chuck, hassasiyet, malzeme esnekliği ve uzun süreli performans dengesini sunar. Ürünümüzle, gofret taşıma işleminizin verimli, güvenli ve son derece doğru olacağından emin olabilirsiniz.