Mikro Gözenekli SiC Aynalar

Gelişmiş levha işlemede üstün hassasiyet ve stabilitenin yanı sıra temizlik sağlamak için Mikro Gözenekli SiC Aynalar, çok yüksek saflıkta silisyum karbürden üretilmiştir ve eşit şekilde dağıtılmış mikro gözenekli (veya "mikro gözenekli") bir yapıya sahiptir, bu da tamamen kullanılabilir bir ayna yüzeyi boyunca vakum adsorpsiyonunun son derece düzgün bir şekilde dağılmasını sağlar. Bu aynalar, yarı iletken üretiminin, bileşik yarı iletken işlemenin, mikroelektromekanik sistemlerin (MEMS) ve hassasiyet kontrolü gerektiren diğer endüstrilerin zorlu taleplerini karşılamak üzere özel olarak tasarlanmıştır.

Mikro Gözenekli SiC Aynaların mükemmel performansı

Mikro Gözenekli SiC Aynaların birincil faydası, geleneksel vakumlu aynalar gibi oluklar ve delinmiş delikler kullanmak yerine, aynanın içindeki mikro gözenekli matrisi kontrol ederek vakum dağılımının tam entegrasyonudur. Mikro gözenekli bir yapı kullanılarak, vakum basıncı aynanın tüm yüzeyi boyunca eşit bir şekilde iletilir, sapmayı, kenar hasarını ve yerel gerilim konsantrasyonunu en aza indirmek için gerekli stabilite ve tutma kuvvetinin tekdüzeliğini sağlar, böylece daha ince levhalar ve gelişmiş işlem düğümleriyle ilişkili risklerin önlenmesine yardımcı olur.

SeçimiSiCMikro Gözenekli SiC Aynalar için bir malzeme olarak olağanüstü mekanik, termal ve kimyasal özellikleri nedeniyle yapılmıştır. Mikro gözenekli SiC Aynalar ayrıca son derece sert ve aşınmaya dayanıklı olacak şekilde tasarlanmıştır, böylece paralarını korurlar.

Sürekli kullanımda bile ulusal stabilite. Çok düşük bir termal genleşme katsayısına ve çok yüksek bir termal iletkenliğe sahiptirler; bu nedenle, işlem döngüsü boyunca levhanın düzlüğünü ve konumsal doğruluğunu korurken sıcaklıktaki hızlı değişiklikleri ve lokal ısıtmayı veya plazmaya maruz kalmayı içeren görevleri destekleyebilirler.

Kimyasal stabilite, Semicorex Mikro Gözenekli SiC Aynaların ek bir avantajıdır. Silisyum karbürün en önemli avantajlarından biri, yarı iletken üretimi için kullanılan agresif plazma sistemlerinde tipik olarak bulunan zararlı gazlara (aşındırıcı gazlar, asitler ve alkaliler dahil) maruz kalmaya dayanma yeteneğidir. Semicorex Mikro Gözenekli SiC Aynaların sağladığı yüksek seviyedeki kimyasal inertlik, çeşitli işlemlerle temas halindeyken minimum düzeyde yüzey bozulmasına ve parçacık oluşumuna izin verir, bu da temiz oda işlemlerinin çok sıkı temizlik sınırları altında gerçekleştirilmesine olanak tanır ve verimi ve işlem tutarlılığını artırır.

Semicorex'in tasarım ve üretim süreçleri, herhangi bir mikro gözenekli SiC Chuck'ı oluştururken mümkün olan en yüksek hassasiyet ve kaliteyi elde etmeye odaklanmıştır. Mikro Gözenekli SiC Ayna ile tam yüzey düzlüğü, paralellik ve pürüzlülük elde edilebilir ve tipik olarak diğer birçok standart tip aynada bulunan oluklar Mikro Gözenekli SiC Aynanın yüzeyinde yoktur, bu da standart aynaların çoğuna göre önemli ölçüde daha az parçacık birikmesine ve çok daha kolay temizlik ve bakıma neden olur. Bu, kontaminasyona duyarlı tüm uygulamalar için Mikro Gözenekli SiC Aynaların güvenilirliğini artırır.

Geniş Uygulamalar

Semicorex Mikro Gözenekli SiC Aynalar, yarı iletken üretiminde kullanılan çok çeşitli proses araçlarına ve uygulamalara uyum sağlamak için birçok özelleştirilebilir konfigürasyonda üretilir. Mevcut çeşitli konfigürasyonlar arasında çeşitli çaplar, kalınlıklar, gözeneklilik seviyeleri, vakum arayüzleri ve montaj türleri bulunur. Semicorex Mikro Gözenekli SiC Chuck aynı zamanda silikon, silikon karbür, safir, galyum nitrür (GaN) ve cam dahil hemen hemen tüm alt tabaka malzemeleriyle çalışacak şekilde tasarlanmıştır. Böylece Semicorex Mikro Gözenekli SiC Chuck, halihazırda müşteriler tarafından kullanılmakta olan çeşitli OEM ekipmanlarına ve proses platformlarına kolayca entegre edilebilir.

Semicorex Mikro Gözenekli SiC Aynalar, üretim sürecinizde önemli ölçüde geliştirilmiş stabilite ve öngörülebilirliğin yanı sıra ekipmanın çalışma süresini de artırır. İş parçası boyunca tutarlı vakum adsorpsiyonu, litografi, gravür, biriktirme, cilalama ve inceleme dahil tüm kritik işlemler boyunca levhanın uygun şekilde hizalanmasını garanti eder. Mikro gözenekli SiC'nin üstün dayanıklılığı ve aşınmaya karşı direnci, daha düşük değiştirme oranlarına ve dolayısıyla bu cihazlarla ilgili önleyici bakım harcamalarında ve genel kullanım ömrü maliyetlerinde azalmaya yol açar.

Semicorex Mikro Gözenekli SiC Aynalar, yeni nesil levhaların işlenmesi için güvenilir, yüksek performanslı bir yöntem sunar. Üniform vakum dağılımının üstün termal ve kimyasal kararlılık, mükemmel mekanik bütünlük ve üstün temizlenebilirlik ile birleşimi, tutarlılık, güven ve güvenilirlik ile gelişmiş yarı iletken üretim sürecinin ayrılmaz bir parçasını oluşturan Semicorex vakumlu tutucu çözümleriyle sonuçlanır.