Plazma İşleme Odak Halkası

Semicorex Plazma işleme odak halkası, yarı iletken endüstrisindeki plazma aşındırma işleminin yüksek taleplerini karşılamak için özel olarak tasarlanmıştır. Gelişmiş, yüksek saflıkta Silisyum Karbür Kaplamalı Bileşenlerimiz zorlu ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir ve silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletkenler dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda kullanıma uygundur.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Plazma işleme odak halkamız RTA, RTP veya sert kimyasal temizleme için oldukça stabildir ve bu da onları plazma aşındırma (veya kuru aşındırma) odalarında kullanım için ideal bir seçim haline getirir. Plaka kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini geliştirmek için tasarlanan odak halkalarımız veya kenar halkalarımız, kirlenmeyi ve plansız bakımı en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır.

SiC Kaplamamız, mükemmel ısı iletkenliğinin yanı sıra yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerine sahip, yoğun, aşınmaya dayanıklı bir silisyum karbür kaplamadır. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemini kullanarak SiC'yi ince tabakalar halinde grafit üzerine uyguluyoruz. Bu, SiC Odak Halkalarımızın üstün kaliteye ve dayanıklılığa sahip olmasını sağlar ve bu da onları plazma dağlama işleme ihtiyaçlarınız için güvenilir bir seçim haline getirir.

Plazma işleme odak halkamız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bizimle iletişime geçin.

Plazma işleme odak halkasının parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300

Plazma işleme odaklama halkasının özellikleri

- Hizmet ömrünü uzatmak için CVD Silisyum Karbür kaplamalar.

- Yüksek performanslı saflaştırılmış sert karbondan yapılmış ısı yalıtımı.

- Karbon/Karbon kompozit ısıtıcı ve plaka. - Hem grafit alt katman hem de silisyum karbür katman, yüksek termal iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- İğne deliği direnci ve daha uzun ömür için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama