Plazma İşleme Odak Halkası

Semicorex Plazma işleme odak halkası, yarı iletken endüstrisindeki plazma dağlama işlemenin yüksek taleplerini karşılamak için özel olarak tasarlanmıştır. Gelişmiş, yüksek saflıkta Silisyum Karbür Kaplı Bileşenlerimiz, zorlu ortamlara dayanacak şekilde üretilmiştir ve silisyum karbür katmanlar ve epitaksi yarı iletkenler dahil olmak üzere çeşitli uygulamalarda kullanıma uygundur.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Plazma işleme odak halkamız, RTA, RTP veya sert kimyasal temizleme için oldukça kararlıdır ve bu da onları plazma asitleme (veya kuru asitleme) odalarında kullanım için ideal bir seçim haline getirir. Gofret kenarı veya çevresi etrafındaki aşındırma homojenliğini iyileştirmek için tasarlanan odak halkalarımız veya kenar halkalarımız, kontaminasyonu ve planlanmamış bakımı en aza indirecek şekilde tasarlanmıştır.

SiC Kaplamamız, yüksek korozyon ve ısı direnci özelliklerinin yanı sıra mükemmel termal iletkenliğe sahip, yoğun, aşınmaya dayanıklı bir silisyum karbür kaplamadır. Kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemini kullanarak SiC'yi ince katmanlar halinde grafit üzerine uyguluyoruz. Bu, SiC Odak Halkalarımızın üstün kaliteye ve dayanıklılığa sahip olmasını sağlayarak onları plazma dağlama işleme ihtiyaçlarınız için güvenilir bir seçim haline getirir.

Plazma işleme odak halkamız hakkında daha fazla bilgi edinmek için bugün bize ulaşın.

Plazma işleme odak halkasının parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal yapı	FCC Î² fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane büyüklüğü	ım¼m	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı kapasitesi	J·kg-1 ·K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Mukavemet	MPa (RT 4 noktalı)	415
Youngâ s Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300â)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termal iletkenlik	(W/mK)	300

Plazma işleme odak halkasının özellikleri

- Servis ömrünü uzatmak için CVD Silisyum Karbür kaplamalar.

- Yüksek performanslı saflaştırılmış sert karbondan yapılmış ısı yalıtımı.

- Karbon/Karbon kompozit ısıtıcı ve levha.- Hem grafit alt tabaka hem de silisyum karbür tabaka, yüksek ısıl iletkenliğe ve mükemmel ısı dağıtım özelliklerine sahiptir.

- İğne deliği direnci ve daha uzun kullanım ömrü için yüksek saflıkta grafit ve SiC kaplama