Gözenekli sic chuck

Semicorex gözenekli SIC Chuck, inceleme, test ve litografi gibi işlem adımları yoluyla yarı iletken uygulamalar için gofret substratlarının güvenli, verimli bir şekilde kullanılması için hassasiyetle monte edilmiş seramik bir kısımdır. Chuck, mikro gözenekli silikon karbür seramik (sic) üretilmiştir. SIC, en son yarı iletken üretim ortamları için gerekli mekanik mukavemet, kimyasal direnç ve termal stabilite özelliklerine sahiptir.

Gözenekli SIC Chuck'ın temel bir özelliği,%35-%40'lik bir gözeneklilik sergileyen benzersiz mikro yapısıdır. Chuck'ın gözenekliliği sıkı bir şekilde kontrol edildiğinde, üstteki tasarım, tipik hassas gofret substratları için tutarlı kararlı ve temassız destek üreten mandren boyunca vakum emişinin eşit olarak dağıtılmasına izin verir: silikon veya gan ve diğer bileşik yarı iletkenler.  Vakum emme modu hem partikül kontaminasyonunu hem de mekanik hasarı önler, böylece işlem sırasında gofret bütünlüğünü korur.

Chuck'ın seramik gövdesi, uygulamaya bağlı olarak sınırlı sayıda fonksiyonel katman için kullanılan alümina (AL2O3) gibi diğer seramiklerle öncelikle yüksek saflıkta sic'dir. Malzemenin araştırılması ve geliştirilmesi, gözenek boyutu ve dağılımının gofret boyutlarına ve işlem koşullarına bağlı olarak hava akışı ve tutma kuvveti tasarlamayı yönetmesine izin verir. Vakumun daha ince gofretler üzerinde kontrol edilmesi önemliyse, daha küçük gözenek boyutu dahil edilecektir. Uygun olduğunda daha hızlı akış hızları için daha büyük gözenek boyutu kullanılacaktır.

Gözenekli SIC Chucks, değişken gözenek boyutları, seramik bileşimler ve ateşleme koşullarının bir sonucu olarak renk varyasyonu sergiler. SIC Chucks, silikon karbürün rengi gri veya siyah olduğu için siyah veya koyu gri olma eğilimindedir, ancak büyük alümina içeriğine sahip mandrenler, beyaz renkte olma eğilimindedir. Renkli varyansların ürünün performansı üzerinde hiçbir etkisi yoktur ve yalnızca belirli uygulamaların belirli müşteri ihtiyaçlarına uyması için oluşturulan mühendislik özelliklerini temsil eder.

Üst düzey gofret işleme araçlarında, termal stabilite ve kimyasal inertlik en önemli iki özelliktir. Silikon karbür, korozyon gazlarına ve termal döngülere karşı mükemmel direnç sağlar. Gözenekli SIC Chuck, vakum odalarında ve plazma aşınma araçlarında başarıyla çalışır ve hızla değişen sıcaklıklarla iyi performans göstermeye devam eder. Chuck'ın kısımsal stabilitesini koruma yetenekleri, doğruluk gereksinimleri, boyutsal stabilize edilmiş sürecin alt mikronun altında olabilmesine rağmen, gofretin aynı yerde kalmasını sağlar.

Semicorex gözenekli SIC aynaları, homojen gözeneklilik, yüksek bükülme mukavemet ve düşük termal genleşme sağlayan yetkili şekillendirme ve sinterleme prosedürleri kullanılarak yapılır. Her bir ayna, güvenilir ve tekrarlanabilir bir ürün sağlamak için gözenek yapısı, düzlük ve vakum performansı açısından incelenir. Özel tasarımlar, belirli gofret boyutlarını ve arka taraftaki gaz akış kanalları veya montaj özellikleri gibi sistem entegrasyon gereksinimlerini karşılamak için de mevcuttur.

Sonuç olarak, gözenekli SIC Chuck, hassas gofret işleme gereksinimleri ile birlikte çalışmak üzere dikkatli bir şekilde tasarlanmış yüksek güvenilir bir substrat destek sistemidir. Yüksek vakum tutma kabiliyeti, özelleştirilebilir gözenek yapısı ve olağanüstü malzeme stabilitesi ile, günümüzün yarı iletken imalat hatlarında vazgeçilmez bir üründür.