Semicorex gözenekli SIC plakası, üstün mekanik mukavemet, termal stabilite ve kimyasal direnç sunan yüksek hassasiyetli uygulamalar için tasarlanmış gelişmiş bir seramik malzemedir. *
Semicorex gözenekli SIC plakası, gelişmiş yarı iletken ve hassas üretim uygulamaları için tasarlanmış yüksek performanslı bir seramik malzemedir. İnce kontrol edilen gözenekli bir yapı ile tasarlanan bu plaka, istisnai mekanik mukavemet, termal stabilite ve kimyasal direnç sunar, bu da onu bir olarak kullanmak için ideal bir seçim haline getirir.Vakum ChuckYarı iletken işlemede.
Hassas sinterleme ve gözenek oluşturma ile işlenen gözenekli SIC plakası, düzgün gofretlerin, cam panellerin ve diğer hassas substratların güvenli ve stabil adsorpsiyonunu sağlayarak eşit gözenekliliğe ve optimize edilmiş hava geçirgenliğine sahiptir. Özenle kontrol edilen gözenek boyutu dağılımı, yapısal bileşenlerini en son atoma kadar bir arada tutarken etkili vakum emişine izin verecek ve daha ileri işlem için amaçlanan malzeme için deformasyonu veya hasarı neredeyse önleyecektir: gofret.
Mükemmel termal iletkenliği, gözenekli SIC plakasını, sıcaklığın yüzey boyunca eşit dağılımı ile hızlı ısı dağılımı için en iyi adaylardan biri haline getirir. Bu, doğrudan ürünün verimi ve kalitesi ile ilgili olan termal koşullar içinde stabiliteyi korumak için birçok yarı iletken üretim işleminde önemli hale gelir. Ayrıca, silikon karbür, giyinme iyi ve nispeten yüksek bir sertlik seviyesi sunar, böylece yüzey aşınması ve kontaminasyonu çok genişletilmiş kullanımda geciktirildiğinden plaka için daha uzun bir ömür sağlar.
Kimyasal inertlik, gözenekli SIC plakasının bir başka hayati özelliğidir. Asitlere, alkalilere ve plazma maruziyetine karşı güçlü bir direnç gösterir, bu da aşındırma, biriktirme ve kimyasal işleme odaları gibi yarı iletken imalat içindeki sert ortamlar için çok uygun hale getirir. SIC'nin reaktif olmayan doğası, istenmeyen kimyasal etkileşimleri önler, işlenmiş malzemelerin saflığını korur ve üretim güvenilirliğini arttırır.
Dahası, gözenekli SIC'nin hafif doğası, sağlam mekanik özellikleri ile birleştiğinde, kolay kullanım ve hassas makinelere entegrasyonu kolaylaştırır. Düşük termal genleşme katsayısı, aşırı sıcaklık dalgalanmaları altında bile boyutsal stabilite sağlar ve çalışma sırasında çarpma veya yanlış hizalama riskini en aza indirir.
Gözenekli SIC plakası, gözeneklilik, kalınlık ve yüzey kaplamasındaki değişiklikler de dahil olmak üzere belirli uygulama gereksinimlerini karşılayacak şekilde özelleştirilebilir. Minimum pürüzlülükle ultra düz yüzeylere ulaşmak için gelişmiş işleme ve parlatma teknikleri uygulanabilir ve bir vakum aynası malzemesi olarak performansını daha da artırır.
Semicorex gözenekli silikon karbür plakası, yüksek mukavemet, mükemmel termal ve kimyasal stabilite ve üstün aşınma direncinin bir kombinasyonunu sunan son derece özel bir seramik bileşendir. Eşsiz gözenekli yapısı, yarı iletken ve hassas endüstrilerde güvenli gofret kullanımı sağlayarak etkili vakum emme sağlar. Sonuç olarak, performans, dayanıklılık ve güvenilirliğin çok önemli olduğu yüksek hassasiyetli uygulamalar için önemli bir materyaldir.