Gözenekli sic vakum aynası

Semicorex gözenekli sic vakum chuck, yarı iletken işlemenin tüm aşamalarında gofretlerin doğru ve kararlı konumlandırılmasını sağlamayı amaçlayan bir taşıma çözümünü temsil eder. Bu vakum aynası, gofret taşıma ve substrat hizalama uygulamaları için mükemmel bir kavrama tutar, böylece hem güvenilirliği hem de performansı artırır. Temel malzeme seçenekleri - SUS430, alüminyum alaşım 6061, yoğun alümina seramik, granit ve silikon karbür seramik - termal performans, mekanik özellikler veya ağırlıktaki bireysel gereksinimlere göre optimal malzemeyi seçmek için kullanıcı esnekliğini sunar.

Daha İyi Malzeme Seçimi: Gözenekli SIC vakum aynasının tabanı, çeşitli ihtiyaçlara uygun farklı malzemelerle değiştirilebilir:

• SUS430: Ortak kullanımlar için paslanmaya karşı direnen ucuz bir seçenek.
• Alüminyum Alaşım 6061: Güç, hafif ve harika işlenebilirlik karışımı verir, bu da normal gofret taşıma için iyi olur.
• Yoğun alümina seramik (% 99 AL2O3): Yüksek sıcaklık veya hassas uygulamalar için uygun mükemmel termal stabilite ve yüksek sertlik sağlar.
• Granit: Olağanüstü düzlüğü ve stabilitesi ile tanınan granit, yüksek hassasiyet gerektiren uygulamalar için ideal olan düşük termal genişleme sağlar.
• Silikon karbür seramik: Yüksek termal iletkenliği, kimyasal direnci ve dayanıklılığı ile bilinen SIC, aşırı koşulların karşılaştığı yüksek performanslı ortamlar için idealdir.

Yüksek hassasiyetli düzlük: Gözenekli sic vakum aynası, kullanılan malzemeye göre hassas bir şekilde değişen üstün düzlük sağlar. Malzeme en yüksekten en düşük düzlük hassasiyeti sıralaması:

Granit ve Silikon Karbür Seramik: Her iki malzeme her iki malzeme, en zorlu işleme ortamlarında bile gofret stabilitesini sağlayarak yüksek hassasiyetli düzlük sunar.

Yoğun alümina (% 99 AL2O3): Granit ve SIC ile karşılaştırıldığında biraz daha az düzlük, ancak yine de genel yarı iletken uygulamalar için iyi bir doğruluk sunar.

Alüminyum Alaşım 6061 ve SUS430: Biraz daha düşük düzlük hassasiyeti sağlayın, ancak daha az talepkar uygulamalarda gofret kullanımı için hala güvenilirdir.

Belirli ihtiyaçlar için ağırlık varyasyonları: Gözenekli sic vakum chuck, kullanıcıların ağırlık gereksinimlerine dayalı çeşitli malzeme seçenekleri arasından seçim yapmalarını sağlar:

Alüminyum Alaşım 6061: Kolay kullanım ve taşıma sunan en hafif malzeme seçimi.

Granit: Yüksek stabilite sağlayan ve işleme sırasında titreşimleri en aza indiren daha ağır bir temel malzeme.

Silikon Karbür Seramik: Dayanıklılık ve termal iletkenlik dengesi sunan orta ağırlığa sahiptir.

Yoğun alümina seramik: en ağır seçenek, stabilite ve yüksek termal direncin öncelik verildiği uygulamalar için idealdir.

Yüksek dayanıklılık ve performans: Gözenekli SIC vakum aynası, aşırı sıcaklık varyasyonlarına ve yarı iletken işleme ile ilişkili aşınmaya dayanabilen uzun süreli performans için tasarlanmıştır. Silikon karbür seramik varyantı, termal genleşme ve korozyona karşı olağanüstü direnci nedeniyle yüksek sıcaklık ve kimyasal olarak agresif ortamlar için özellikle faydalıdır.

Maliyet etkin çözümler: Birden fazla malzeme seçeneği ile, gözenekli SIC vakum chuck, farklı bütçelere ve uygulama gereksinimlerine göre uyarlanabilen uygun maliyetli bir çözüm sunar. Genel uygulamalar için, alüminyum alaşım ve Sus430 maliyet verimlidir ve yine de tatmin edici performans sunar. Daha zorlu ortamlar için, granit veya SIC seramik seçenekleri gelişmiş performans ve dayanıklılık sağlar.

Uygulamalar:

Gözenekli sic vakum aynası, yarı iletken endüstrisinde gofret taşıma için öncelikle aşağıdakiler de dahil olmak üzere kullanılır:

• Gofret boyama ve kesme
• Fotovoltaik üretim
• MOCVD ve CVD epitaksi büyümesi
• İyon implantasyonu
• Oksidasyon ve difüzyon işlemleri

Semicorex’in gözenekli sic vakum Chuck, hassasiyeti, çok yönlülüğü ve dayanıklılığı için öne çıkıyor. Genel kullanım için hafif çözümlere veya yüksek performanslı yarı iletken işlemler için gelişmiş malzemelere ihtiyacınız olsun, ürünümüz ihtiyaçlarınızı karşılamak için çok çeşitli seçenekler sunar. En yüksek kalite standartlarıyla üretilen vakum aynalarımız, çeşitli uygulamalar için güvenilir ve verimli gofret taşıma sağlar ve hem standart hem de özel süreçlerde tutarlı sonuçlar verir.

Gofret stabilitesi ve hassas kullanımının çok önemli olduğu endüstriler için, gözenekli sic vakum chuck ideal bir çözüm sunar. Malzeme seçimi, yüksek hassasiyet ve üstün dayanıklılık ile, çok çeşitli yarı iletken işlemleri için mükemmel bir seçimdir.