Gözenekli SiC Vakum Aynaları

Semicorex gözenekli SiCvakum aynalarılevha inceltme, küp küp doğrama, taşlama, cilalama, fotolitografi, gravür gibi ileri yarı iletken üretim süreçlerinde yaygın olarak kullanılabilen vazgeçilmez bileşenlerdir. Adsorpsiyon platformları, çok sayıda eşit şekilde dağıtılmış mikron ölçekli gözeneklere sahip gözenekli bir SiC seramik plakadan yapılmıştır. Tutarlı gözenek çapı ve olağanüstü delik hızıyla Semicorex gözenekli SiC vakum aynaları, vakumlu tahliye için düzgün bir gaz yolu sağlar. Çalışma sırasında, ayna ile levha arasında sabit ve eşit bir negatif basınç oluşturularak yarı iletken levhaların yüksek verimli vakumla sıkıştırılmasına ve serbest bırakılmasına olanak sağlanır.

Semicorex gözenekli SiC vakumlu aynaların avantajları 

1. Olağanüstü işleme hassasiyeti

Gelişmiş yarı iletken üretiminde işlenen yarı iletken levhalar son derece incedir; bu nedenle en hafif bükülme, titreşim veya eşit olmayan yerel gerilim bile levhanın kırılmasına, bükülmesine ve litografi gibi kritik işlemlerde doğruluğun azalmasına neden olabilir. Semicorexgözenekli SiCVakumlu aynalar yüksek hassasiyetli taşlama ve cilalama yoluyla işlenir ve Ra < 0,1 μm'lik mükemmel bir yüzey pürüzlülüğü elde edilir. Bu, Semicorex gözenekli SiC vakum aynalarının yüksek hassasiyetli yarı iletken üretimi için optimize edilmiş bir çalışma yüzeyi sağlamasını sağlar.

2. Yüksek temizlik ve yüksek korozyon direnci

Katı yarı iletken temizlik standartlarını tam olarak karşılamak için Semicorex, yüksek sıcaklıkta sinterleme yoluyla yüksek saflıkta silisyum karbür hammaddeleri içeren gözenekli SiC vakumlu aynalar üretmektedir. Bu, aynaların parçacık dökülmesinden ve taşınabilen metalik kirlenmeden arınmış olmasını sağlar. SiC'nin mükemmel kimyasal stabilitesinden yararlanan Semicorex gözenekli SiC vakumlu aynalar, zorlu korozyon ortamlarına dayanabilir ve hiçbir ekstra yan ürün üretmez; bu da onları yüksek dereceli temiz yarı iletken üretim süreçleri için son derece uygun hale getirir.

3. Mükemmel dayanıklılık ve uzun vadeli stabilite

Üretim hatlarında kullanılan vakumlu aynalar, binlerce adsorpsiyon ve serbest bırakma döngüsünün yanı sıra uzun vadeli sıcaklık dalgalanmalarına da dayanmalıdır. Bu, vakumlu aynaların malzeme performansına son derece yüksek gereksinimler getirir. Semicorex gözenekli SiC vakumlu aynalar, istikrarlı termal genleşmeyle birlikte olağanüstü malzeme sertliğine ve aşınma direncine sahiptir. Yüksek sıcaklık koşullarında herhangi bir akma veya performans kaybı göstermezler, bu da servis ömrünü önemli ölçüde uzatır ve bileşen bakım ve değiştirme sıklığını azaltır.