Difüzyon Fırınları için Proses Tüpü

Difüzyon fırınları için Semicorex proses borusu tipik olarak CVD SiC kaplamalı yüksek saflıkta SiC'den yapılır. Bu malzemeler, mükemmel termal stabiliteleri ve aşındırıcı gazlara ve yüksek sıcaklıklara karşı dirençleri nedeniyle seçilir.

Difüzyon fırınları için Semicorex proses borusu, kapalı ve açık uçlu silindir şeklindedir. Difüzyon fırınına sokulur ve difüzyon işleminin gerçekleştiği kapalı bir oda oluşturur. Tüp, herhangi bir gaz sızıntısını önlemek ve fırın içinde kontrollü bir atmosfer sağlamak için dikkatlice tasarlanmıştır.

difüzyon fırınları için bir işlem tüpü, yarı iletken cihazların imalatında çok önemli bir rol oynar. Difüzyon prosesleri için kontrollü bir ortam sağlayarak tek tip doping profilleri ve proses parametreleri üzerinde hassas kontrol sağlar. Yüksek saflıkta malzemelerin kullanımı ve dikkatli tasarım hususları, proses tüpünün bütünlüğünün korunmasına yardımcı olur ve yüksek kaliteli yarı iletken plakaların üretimini sağlar.