Robot Uç Efektörü

Semicorex, yarı iletken üretiminin Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit, Silisyum Karbür Seramik, MOCVP alanlarına odaklanan, önde gelen bağımsız bir Silisyum Karbür Kaplamalı Grafit, Hassas İşlenmiş Yüksek Saflıkta Grafit üreticisidir. Robot Uç Efektörümüz iyi bir fiyat avantajına sahiptir ve Avrupa ve Amerika pazarlarının çoğunu kapsamaktadır. Çin'deki uzun vadeli ortağınız olmayı sabırsızlıkla bekliyoruz.

Talep Gönder

Ürün Açıklaması

Robot Uç Efektörü, yarı iletken levhaları levha işleme ekipmanı ve taşıyıcılardaki konumlar arasında hareket ettiren robotun elidir. Robot Uç Efektörü, cihazlara zarar vermeden veya partikül kontaminasyonu oluşturmadan levhaları güvenli bir şekilde işlemek için pürüzsüz, aşınmaya dayanıklı bir yüzeye sahip olmanın yanı sıra boyutsal olarak hassas ve termal olarak stabil olmalıdır. Yüksek saflıkta silisyum karbür (SiC) kaplama Robot Uç Efektörümüz, tutarlı epi katman kalınlığı ve direnci için üstün ısı direnci, hatta termal tekdüzelik ve dayanıklı kimyasal direnç sağlar.

Robot Uç Efektörünün Parametreleri

CVD-SIC Kaplamanın Ana Özellikleri
SiC-CVD Özellikleri
Kristal Yapısı	FCC β fazı
Yoğunluk	g/cm³	3.21
Sertlik	Vickers sertliği	2500
Tane Boyutu	μm	2~10
Kimyasal Saflık	%	99.99995
Isı Kapasitesi	J kg-1 K-1	640
Süblimleşme Sıcaklığı	℃	2700
Feleksural Dayanım	MPa (RT 4 nokta)	415
Young Modülü	Gpa (4pt viraj, 1300°C)	430
Termal Genleşme (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Isı iletkenliği	(W/mK)	300