SiC Tekne

Semicorex SiC Tekneler, eşsiz termal stabilitesi, olağanüstü mekanik mukavemeti ve sarsılmaz kimyasal eylemsizliği ile tanınan bir malzeme olan yüksek saflıkta SiC seramikten titizlikle üretilmiştir. Bu nitelikler onu yarı iletken imalatının zorlu koşulları için mükemmel bir seçim haline getiriyor.

SiC Tekneler, malzemenin sertliği ve olağanüstü aşınma direnci sayesinde benzersiz mekanik mukavemet ve dayanıklılığa sahiptir. Bu, kademeli aşınma ve yıpranmaya boyun eğmeden, yüksek verimli yarı iletken üretim ortamlarının zorlu doğasına dayanmalarını sağlar. Diğer malzemelerin aksine SiC yapısal bütünlüğünü zaman içinde koruyarak sık sık değiştirme ihtiyacını önemli ölçüde azaltır ve üretim operasyonlarındaki aksama sürelerini en aza indirir; sonuçta yarı iletken üreticileri için önemli maliyet tasarruflarına yol açar.

SiC'nin kimyasal inertliği, onu reaktif gazlardan ve klor ve flor gibi yaygın olarak kullanılan malzemelerden gelen kimyasal saldırılara karşı oldukça dirençli hale getirerek yarı iletken işlemlere uygunluğunu daha da sağlamlaştırır. Bu sağlam direnç, SiC teknelerinin işleme sırasında plakaları kirletmemesini sağlar, böylece üretilen yarı iletken cihazların saflığını ve kalitesini korur. Daha da yüksek düzeyde kimyasal direnç gerektiren işlemler için SiC Tekneler, kimyasal saldırılara karşı ekstra bir bariyer sağlayan ve partikül kontaminasyonu riskini azaltmak için teknenin yüzey kaplamasını yükselten ek bir SiC katmanıyla kaplanabilir.

Bu teknelerde kullanılan SiC seramiğinin yüksek saflığı kritik öneme sahiptir, çünkü yarı iletken üretimi minimum düzeyde yabancı madde içeren malzemeler gerektirir. Az miktardaki kirletici maddeler bile levhaların elektriksel özelliklerini bozabilir ve nihai cihazlarda kusurlara neden olabilir. SiC Tekneleri, yarı iletken imalatına özgü yüksek sıcaklıklarda ve reaktif koşullarda bile proses ortamına hiçbir yabancı madde sokmamalarını sağlamak için ultra yüksek saflıkta SiC seramiğinden tasarlanmıştır. Bu saflık, kritik proses adımları için SiC Teknelerin güvenilirliğini sağlamlaştırır.

SiC Teknelerin çeşitli yarı iletken ekipmanlarla uyumluluğu çok önemlidir. SiC'nin çok yönlülüğü, farklı türdeki yarı iletken fırın ve reaktörlerin gerektirdiği özel boyutlara ve konfigürasyonlara uyacak şekilde hassas bir şekilde işlenmesine olanak tanır ve bu da onları küçük ölçekli araştırma ve geliştirme operasyonlarından büyük ölçekli üretim hatlarına kadar çok çeşitli uygulamalar için uygun hale getirir. Ek olarak, malzemenin olağanüstü termal iletkenliği ve ısı dağıtma özellikleri, işleme sırasında daha verimli sıcaklık kontrolüne katkıda bulunarak yarı iletken cihazların performansını ve verimini daha da artırır.