SiC Konsol Kürek

Semicorex SiC (Silikon Karbür) Konsol Paddle, yarı iletken üretim süreçlerinde, özellikle difüzyon ve RTP (Hızlı Termal İşleme) gibi işlemler sırasında difüzyon veya LPCVD (Düşük Basınçlı Kimyasal Buhar Biriktirme) fırınlarında kullanılan çok önemli bir bileşendir. Bu fırınların proses tüpü içerisinde gofretlerin desteklenmesi ve taşınması amacına hizmet eder.

Semicorex SiC Konsol Paddle, öncelikle yüksek sıcaklık direnci ve mükemmel mekanik özellikleriyle bilinen sağlam ve termal olarak stabil bir malzeme olan Silisyum Karbürden oluşur. SiC, yarı iletken fırınların yüksek sıcaklıktaki proses ortamlarında karşılaşılan zorlu koşullara dayanma kabiliyeti nedeniyle seçilmiştir. SiC Konsol Paddle'ın tasarımı, bir ucu borunun dışına sıkıca sabitlenirken fırının proses borusunun içine doğru uzanmasına olanak tanır. Bu tasarım, fırının içindeki termal ortamla etkileşimi en aza indirirken, işlenen levhalar için stabilite ve destek sağlar.

SiC Konsol Paddle, difüzyon ve RTP gibi çeşitli yüksek sıcaklıktaki işlemler sırasında yarı iletken levhaları işlem tüpü içinde güvenli bir şekilde taşımaktır. Sağlam yapısı, bu işlemler sırasında karşılaşılan aşırı sıcaklıklara ve kimyasal ortamlara bozulma veya arıza olmadan dayanabilmesini sağlar. SiC Konsol Kanatları, sektörde yaygın olarak kullanılan çok çeşitli yarı iletken levha boyutları ve şekilleriyle uyumlu olacak şekilde tasarlanmıştır. Genellikle belirli fırın konfigürasyonlarına ve proses gereksinimlerine uyacak şekilde özelleştirilebilirler.