Sic konsol kürekleri

Semicorex Sic konsol kürekleri, yarı iletken termal işleme ekipmanlarında (LPCVD, PECVD, oksidasyon ve difüzyon fırınları) tam olarak gofret taşıma ve gofret taşıması için tasarlanmış yüksek performanslı bileşenlerdir. Bu konsol kürekleri, gofretler için bir platform ve sert yüksek sıcaklık işlemleri (genellikle 1200 ° C'yi aşan) ile kırılgan gofretlerin sabit ve güvenilir bir şekilde taşınmasını sağlayan gerekli bir destek biçimi sağlar. Konsol kürekleri, yarı iletken üretim ortamı için mekanik dayanıklılık, termal stabilite ve anti-korozif özellikler sağlayan yüksek saflıkta silikon karbürden (sic) üretilir.

Silikon karbür, mükemmel termal iletkenliğe, düşük termal genleşmeye ve kimyasal olarak düşman ortamlarda güvenilir bir şekilde performans gösterme yeteneğine sahip süper premium bir seramik malzemedir. Konsol küreklerinde silikon karbür, termal çarpıtmayı azaltmaya yardımcı olabilir

 ve gofretleri düz ve nominal işleme pozisyonlarında tutan hareket. Konsol kürekleri bağlamında gofretin termal stabilitesi, özellikle gelişmiş düğüm cihazları üretirken parçacık kontaminasyonu ve mekanik hareket sorunlarını en aza indirmek için önemlidir. Bu sorunlar verim kaybına veya maliyetli yeniden işleme ve gofretlerin değiştirilmesine neden olabilir.

Sic konsol küreklerinin monolitik formu, tipik olarak kompozitlerde var olabilecek eklemleri ve zayıf noktaları ortadan kaldırırken mekanik sağlamlığı ve termal homojenliği geliştirir. Ayrıca, küreklerin yüzey kaplaması spesifik olarak kontrol edilir ve genellikle partikül üretimini en aza indirmek için yakın bir ayna kalitesine parlatılır ve çok temiz oda sınıfına uygundur.

Oksijen, buhar ve diğer reaktif gazları içeren difüzyon ve oksidasyon işlemlerinde; Geleneksel malzemeler zamanla erimesi veya deforme olabilir. SIC’nin doğal kimyasal inert özelliği, küreklerin outgas yapmamasını veya istikrarsız malzemelerin kullanılması nedeniyle sürece kontaminasyon yapmamasını ve daha kararlı bir sürece ve güvenilir sonuçlara katkıda bulunmasını sağlar.  SIC konsol küreklerinin yapısal bütünlüğü, ısıtma ve soğutmanın hızlı bir şekilde döngüsüne rağmen stabil olmaya devam etmektedir. Bu nedenle, büyük ölçüde azaltılmış bakım veya kısım değiştirme kesinti ile uzun operasyonel hizmet ömrü sunarlar.

Ek olarak, SIC küreklerinin azalmış kütle ve hafif ağırlığı daha hızlı bir termal yanıt sağlar; böylece daha hızlı termal artış ve artan üretkenlik ve enerji verimliliğine katkıda bulunan soğuma sürelerine izin verir, bu da yarı iletken üretiminin rekabetçi manzarasındaki tüm büyük metrikler.

SIC konsol kürekleri, 100 mm ila 300 mm ve daha büyük çeşitli fırın tasarımları ve gofret boyutlarını karşılayacak şekilde tasarlanmış ve üretilen çeşitli konfigürasyon ve boyutlarda sağlanabilir. OEM'ler ve ekipman entegratörleri, hem ön uç hem de arka uç işlemlerde konuşlandırmalar için SIC küreklerinin zaman içinde tutarlılığını ve güvenilirliğini takdir eder.

Semicorex, malzeme saflığı, mikroyapı ve boyutsal toleranslar üzerinde sıkı kontrole sahip premium sic konsol kürekleri sunar. Gelişmiş süreç yeteneklerimiz, yarı iletken termal dinamikler hakkındaki bilgimizle birleştiğinde, istikrar, temizlik ve dayanıklılık için endüstri standartlarını karşılayan veya aşan bu özelliklere sahip kürekler üretmemize izin verir. Doğru ve güvenilir olması gerektiğinde, Semicorex kaliteli SIC bileşenlerine gidecek yerdir.