Sic seramik tekneler

Semicorex sic seramik tekneler, yarı iletken gofretleri en zorlu kimyasal ve termal olarak aşırı ortamlarda güvenli bir şekilde taşımak, depolamak ve işlemek için özel olarak tasarlanmış son teknoloji taşıyıcılardır. Yarıiletken endüstrisi, SIC seramik teknelerinin güvenilir, güvenilir bir şekilde ve kirlenmeden gerektiren yeni performans standartlarını hızla benimsemiştir.

Güçlü termal stabilite ve mukavemet

SIC seramik teknelerinin tanımlayıcı niteliği çok yüksek termal stabilitesidir. SIC seramik tekneler, agresif termal bisiklet süreçleri sırasında şekillerini veya yapılarını kaybetmeden 1600 ° C'den fazla sıcaklığa dayanabilir. Ultra düşük termal genleşme katsayısı nedeniyle, SIC seramik tekneler, sert koşullar altında taşıma sırasında sıkı toleranslar ve genel gofret güvenliği sağlar.

Yüksek saflık ve kimyasal direnç

SIC seramik tekneler ultra yüksek saflıkta silikon karbürden üretilmiştir. SIC seramik tekneler ayrıca kimyasal bozunma, aşındırıcı ve aşınma plazmasına karşı oldukça dirençlidir. SIC seramik teknelerin inert doğası, aşındırıcı gaz süreçleri, reaktif ortamlar, asidik koşullar ya tekneden kontaminasyon veya çalışma sürecine zarar vermek için çözünmeyen bir şey oluşturmayacaktır. SIC seramik teknelerinin kontaminasyon olmayan yüzeyi, parçacık üretimi veya iyon sızıntısı mümkün değildir, bu nedenle bir gofret yüzeyi, cihaz performansını veya verimini engelleyen safsızlıklar tarafından tehlikeye girmez.

Güvenli ve güvenli gofret taşıma için hassas mühendislik

SIC seramik tekneler, 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm ve daha fazlası dahil olmak üzere çeşitli çaplarda gofretleri ele almalarına izin veren sıkı toleranslar içinde üretilir. SIC teknelerinin yapısal tasarımı, uygun gofret alıştırma yönünü korumak ve başka bir işleme veya alete aktarılırken gofretin kenarlarını korumak için mükemmel düzlük, paralellik ve düzgün yuva boyutu sağlar. Tüm SIC tekneleri, araç setine uyacak şekilde özel boyutlarla tasarlanabilir veya otomasyon özelliklerini karşılamaktadır.

Uzun ömür ve daha uygun maliyetli

SIC, geleneksel malzemeleri (kuvars, alümina) önemli ölçüde geliştirilmiş mekanik mukavemet, kırık tokluğu ve termal şok direnci ile değiştirir. Bu dayanıklılık seviyesi, "başarısızlıktan önce daha uzun bir ömür, operasyon sırasında önemli ölçüde daha az değişim ve toplam sahiplik maliyeti anlamına gelir. SIC'nin dayanıklılığından kaynaklanan performanstaki tutarlılık, düşüş sürelerini azaltacak ve yarı iletken üretim hatlarındaki verimi hızlandıracaktır.

Yarıiletken işlemlerinde uygulamaları açın

SIC seramik tekneleri, aşağıdakiler gibi ön uç yarı iletken işlemlerinde yaygın olarak kullanılmaktadır:

LPCVD ve PECVD birikimi

Termal oksidasyon

İyon implantasyonu

Tavlama ve difüzyon

Gofret temizliği ve kimyasal işleme

SIC seramik kolları, hem atmosfer hem de vakum işlem odalarında uyumlu işleme uygulamalarına sahiptir, bu da üretkenliği artırırken kontaminasyon riskini en aza indirmek ve azaltmak isteyen dökümhaneler ve fablar için ideal bir seçimdir.