SiC Seramik Vakum Chuck

Yarı iletken üretim tesisleri, Moore Yasası için çabalarken, şiddetli mekanik kuvvetlere dayanabilen ve herhangi bir çarpma ya da eğim olmadan düz kalabilen levha tutma platformlarına ihtiyaç duyuyor. Semicorex SiC Seramik Vakumlu Ayna, geleneksel alümina ve paslanmaz çelik aynaların yerine mükemmel bir çözüm sunar; gerekli sertlik/ağırlık oranını sağlayacaklar ve kimyasal olarak reaksiyona girmeyecekler; bunların her ikisi de 300 mm levha ve ötesinin işlenmesi için gereklidir.

1. Sinterlenmiş yoğun silisyum karbür (SSiC) kullanılmasının malzeme avantajları.

Bizim temel bileşenimizSiC SeramikVakum Aynası SinterlendiSilisyum Karbürçok güçlü kovalent bağlarıyla tanımlanan bir malzeme. SSiC'miz gözenekli veya reaksiyona bağlı değildir; bunun yerine, neredeyse teorik yoğunluğa (> 3,10 g/cm3) ulaşmak için > 2000 santigrat derecede sinterlenir; basitçe söylemek gerekirse, vakumlu aynaların üretiminde kullanılan diğer malzemelerden daha katıdır.

Olağanüstü Mekanik Sağlamlık.

SSiC'nin Young Modülü yaklaşık 420 GPa'dır, bu da onu alüminadan çok daha sert yapar (yaklaşık 380 GPa). Bu yüksek elastikiyet modülü nedeniyle, aynalarımız hem vakum hem de yüksek hızlı dönüş koşulları altında stabil kalacak ve deforme olmayacaktır; dolayısıyla, levhalar "patates talaşı" oluşturmaz (yani bükülmez) ve her zaman tüm yüzey alanları boyunca eşit temas sağlar.

Termal Kararlılık ve Düşük CTE

Yüksek yoğunluklu UV ışığı veya sürtünmeden kaynaklanan ısı içeren işlemlerde termal genleşme, kaplama hatalarına yol açabilir. SiC aynalarımız 4,0 x 10^{-6}/K'lik düşük bir Termal Genleşme Katsayısı'na (CTE) ve yüksek termal iletkenliğe (>120W/m·K) sahiptir. Bu kombinasyon, aynanın ısıyı hızla dağıtmasına ve uzun süreli litografi veya metroloji döngüleri sırasında boyutsal stabiliteyi korumasına olanak tanır.

2. Hassas Mühendislik ve Tasarım

Ürün görselinde görüldüğü gibi vakum aynalarımız eşmerkezli ve radyal vakum kanallarından oluşan karmaşık bir ağa sahiptir. Bunlar, levhanın kırılmasına yol açabilecek lokal stres noktalarını en aza indirerek levha boyunca eşit emiş sağlamak için son derece hassas bir şekilde CNC ile işlenmiştir.

Mikron Altı Düzlük: <1μm küresel düzlüğü elde etmek için gelişmiş elmas taşlama ve alıştırma tekniklerini kullanıyoruz. Bu, gelişmiş litografi düğümlerinde gereken odak derinliğini korumak için kritik öneme sahiptir.

Hafifleştirme (İsteğe bağlı): Stepper'larda ve tarayıcılarda yüksek hızlanma aşamalarına uyum sağlamak için, yapısal sağlamlıktan ödün vermeden kütleyi azaltan dahili petek "hafif" yapılar sunuyoruz.

Çevre Hizalama Çentikleri: Entegre çentikler, proses aracı içindeki robotik uç efektörler ve hizalama sensörleri ile kusursuz entegrasyona olanak tanır.

3. Yarıiletken Tedarik Zincirinde Kritik Uygulamalar

SiC Seramik Vakum Aynalarımız aşağıdakiler için endüstri standardıdır:

Gofret İnceltme ve Öğütme (CMP): Gofretlerin kenar kırılması olmadan mikron seviyesine kadar inceltilmesi için gerekli rijit desteğin sağlanması.

Litografi (Kademeli/Tarayıcılar): 7 nm'nin altındaki düğümler için hassas lazer odaklama sağlayan ultra düz "sahne" görevi görür.

Metroloji ve AOI: Yüksek çözünürlüklü inceleme ve kusur haritalaması için levhaların tamamen düz olmasını sağlamak.

Gofret Dilimleme: Yüksek hızlı mekanik veya lazer dilimleme işlemleri sırasında stabil emiş sağlar.

Semicorex olarak vakumlu aynanın yalnızca yüzey bütünlüğü kadar iyi olduğunun bilincindeyiz. Her ayna çok aşamalı bir kalite kontrol sürecinden geçer:

Lazer İnterferometri: Tüm çap boyunca düzlüğü doğrulamak için.

Helyum Sızıntı Testi: Vakum kanallarının mükemmel şekilde sızdırmaz ve verimli olmasını sağlamak.

Temiz Oda Temizliği: Sıfır metalik veya organik kirlenmeyi sağlamak için Sınıf 100 ortamlarda işlenir.

Mühendislik ekibimiz yuva modellerini, boyutları ve montaj arayüzlerini özelleştirmek için OEM takım üreticileriyle yakın işbirliği içinde çalışır. Semicorex'i seçerek arıza süresini azaltan, kaplama doğruluğunu artıran ve olağanüstü dayanıklılık sayesinde toplam sahip olma maliyetinizi düşüren bir bileşene yatırım yapmış olursunuz.