SiC Seramik Vakumlu Aynalar

Hassas tasarımlı mikro delikler, SiC seramik vakum aynalarının yüzeyi boyunca eşit şekilde dağıtılarak harici vakum ekipmanına güvenilir bağlantı sağlar. Çalışma sırasında vakum pompası deliklerden hava çekmek için etkinleştirilir ve yarı iletken plaka ile vakum aynası arasında negatif bir basınç ortamı oluşturulur. Bu nedenle bu, levhanın vakumlu ayna yüzeyi üzerinde eşit ve sıkı bir şekilde tutulmasına olanak tanır.

Semicorex SiC seramik vakumlu tutucuların avantajları

1.Premium malzeme seçimi

SemicorexSiC seramik vakumlu aynalarHammadde olarak yüksek saflıkta silisyum karbürü dikkatlice seçin. Semicorex'in malzeme saflığı üzerindeki sıkı kontrolü, çalışma sırasında yabancı maddelerin neden olduğu levha kontaminasyonunu etkili bir şekilde önler, böylece üretim temizliği ve verimine yönelik artan talepleri karşılar.

2.İnce işleme hassasiyeti

Semicorex SiC seramik vakumlu aynaların yüzeyi ayna cilasına tabi tutulur ve düzlüğü 0,3–0,5 μm'de kontrol edilir. Bu aşırı düzlük kontrolü, pürüzlü temas yüzeylerinin neden olduğu levha çizilme riskini büyük ölçüde azaltan optimum temas etkisini sağlayabilir. Vakumlu aynalardaki her mikro delik ve oluk hassas bir şekilde işlenmiştir, böylece çalışma sırasında stabil ve düzgün bir adsorpsiyon etkisi sağlanır.

3.Esnek özelleştirme hizmetleri

Semicorex, SiC seramik vakumlu aynaların 6 inç, 8 inç, 12 inç gibi çeşitli boyut seçeneklerini sunarak değerli müşterilerimize özelleştirme hizmetleri sunmaktadır. Boyut toleranslarını, gözenek boyutunu, düzlüğü ve pürüzlülüğü müşteri gereksinimlerini karşılayacak şekilde özelleştirebilir, yarı iletken işleme ve inceleme ekipmanınızla mükemmel bir uyum sağlayabiliriz.

4. Mükemmel dayanıklılık ve kullanım ömrü

SemicorexSiC seramikVakum aynaları izostatik presleme ile oluşturulur ve daha sonra yüksek sıcaklıkta sinterlenir. Bu özel proses teknolojisinden sonra Semicorex SiC seramik vakumlu aynalar hafiflik, yüksek sertlik, güçlü aşınma direnci ve düşük termal genleşme katsayısı gibi birçok mükemmel performansa sahiptir. Bu özellikler, Semicorex SiC seramik vakumlu aynaların, yarı iletken levha taşıma ve işlemedeki zorlu koşullarda sürekli olarak çalıştırılabilmesini sağlar.