SiC Kaplamalı Gaz Yönlendirme Diskleri

Gelişmiş yarı iletken sınıfı malzemelerin ve en ileri üretim teknolojilerinin güzel bir örneği olan SemicorexSiC kaplıGaz yönlendirme diskleri, kimyasal buhar biriktirme yoluyla yoğun SiC kaplamalı matrisleri olarak yüksek saflıkta grafitten hassas bir şekilde üretilir. Gaz yönlendirme diskleri esas olarak, işlem sırasında tam reaksiyonları sağlamak için reaksiyon gazını levha yüzeyi boyunca eşit şekilde dağıtmak, böylece tutarlı ve tek kristalli ince filmlerin oluşumunu kolaylaştırmak üzere tasarlanmıştır.

Semicorex SiC kaplı gaz yönlendirme disklerinin avantajları

1.Yüksek malzeme saflığı

Semicorex, dikkatli malzeme seçiminden başlayarak sıkı ürün kalite standartlarını desteklemektedir. Hammaddenin sıkı saflık kontrolü sayesinde, Semicorex SiC kaplı gaz yönlendirme diskleri düşük yabancı madde içeriği sağlar ve olağanüstü temizliğe sahiptir. Bu, metal iyonlarının ve diğer kirletici maddelerin yarı iletken epitaksiyel süreçleri etkilemesini önemli ölçüde önleyebilir.

2.Üstün termal stabilite

Yarı iletken epitaksiyel ekipman tipik olarak 1400°C'nin üzerindeki sıcaklıklarda çalıştığından, bu sistemlerde kullanılan bileşenlerin olağanüstü termal stabiliteye sahip olması gerekir. Bu olağanüstü termal stabilite, Semicorex SiC kaplı gaz yönlendirme disklerinin zorlu yüksek sıcaklıktaki çalışma koşullarına dayanmasını sağlayabilir ve çalışma sırasında yüksek sıcaklığın neden olduğu yabancı maddelerin salınmasını etkili bir şekilde önleyebilir, bu da epitaksiyel levhaların kalitesini ve verimini garanti etmeye yardımcı olur.

3. Olağanüstü yüksek sıcaklıkta korozyon direnci

Korunmasız grafit matrisler korozyona ve parçacık oluşumuna eğilimlidir; bu nedenle gaz yönlendirme diskleri, korozyon direncini arttırmak için genellikle silikon karbür kaplamayla işlenir. Yoğun bir SiC kaplamayla kaplanmış olan Semicorex SiC kaplı gaz yönlendirme diskleri, mükemmel oksidasyon ve kimyasal korozyon direnci sunar; bu da onların zorlu yüksek sıcaklık ve aşındırıcı çalışma koşulları altında bile uzun hizmet ömrü boyunca istikrarlı bir şekilde çalışmasını sağlar.

4. Esnek özelleştirme yetenekleri

Semicorex, deneyimli işleme yetenekleri sunan CNC işleme ekipmanı, yüzey taşlama makineleri ve ultrasonik delme ekipmanı gibi çok sayıda gelişmiş işleme ekipmanıyla donatılmıştır. Semicorex, müşteri çizimlerine göre esnek özelleştirme hizmetleri sunabilmekte ve müşterilerin epitaksiyel ekipmanlarıyla kusursuz uyumluluk sağlamak için SiC kaplı gaz yönlendirme disklerinin boyutlarını, toleranslarını, yüzey düzlüğünü, delik çaplarını ve delik aralıklarını uyarlayabilmektedir.